特許
J-GLOBAL ID：200903052578743648

描画点データ取得方法および装置並びに描画方法および装置

発明者：
武者野 満

武者野 満 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (3件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛 ,  安田 隆一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-089958
公開番号（公開出願番号）：特開2006-309200
出願日： 2006年03月29日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：
【課題】露光ヘッドを基板に対して相対的に移動させるとともに、その移動に応じて露光点を基板上に順次形成して露光画像を露光する露光方法において、基板の変形などに関わらず、基板上の所望の位置に所望の露光画像を露光する。【解決手段】基板12上の所定位置に予め設けられた複数の基準マーク12aをカメラ26により検出してその基準マーク12aの位置を示す検出位置情報を検出位置情報取得手段52により取得し、その取得した検出位置情報に基づいて露光ヘッド30の各マイクロミラー38の基板12上における実際の露光軌跡を表わす露光軌跡情報を露光軌跡情報取得手段54により取得し、露光点データ取得手段56において各マイクロミラー38毎の露光軌跡情報に対応した露光点データを露光画像データから取得し、その取得した露光点データに基づいて露光ヘッド30により基板12を露光する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
描画点データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、描画対象に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を前記描画対象上に順次形成して前記描画対象上に画像を描画する際に用いられる前記描画点データを取得する描画点データ取得方法において、 前記画像の元の画像データ上における前記描画点形成領域の描画点データ軌跡の情報を取得し、 該取得した描画点データ軌跡情報に基づいて前記描画点データ軌跡に対応した複数の前記描画点データを前記画像データから取得することを特徴とする描画点データ取得方法。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F7/20 501 ,  H01L21/30 529
Fターム (8件)：
2H097AA03 ,  2H097CA03 ,  2H097GB04 ,  2H097LA09 ,  2H097LA11 ,  5F046BA06 ,  5F046BA07 ,  5F046CB18
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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