ウエハ保持装置および保持方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-048286
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263528
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】静電吸着によりウエハを保持する保持装置において、ウエハ処理がウエハ外周部でも均一で、かつ異物の発生が少ない構成とし、ウエハ処理の歩留まりが高いウエハ処理装置を提供する。【構成】ウエハ(1)処理面側の接触物を除去し、かつウエハ(1)表面と同じか上の位置となるようにウエハ外周部にサセプタ部材(16)を設けた。さらに、ウエハ(1)裏面とサセプタ(16)間の隙間を適正化した。ウエハ保持装置(17)の上下機構は、カバー付きとし、ベローズ(30)でシールした。また、ウエハ冷却用の冷媒流路(7)形成法を、ロストワックスや拡散接合法とした。

請求項（抜粋）：

ウエハ処理装置でウエハを装置保持するウエハ保持装置および保持方法において、該ウエハの処理面側の表面に該ウエハと接触する部材を設けないで静電気力に用いてウエハを該ウエハ保持装置に保持し、該ウエハ処理表面と同一面かあるいは該ウエハ表面より外側に位置した表面を有する絶縁部材で該ウエハ外周部を構成し、該ウエハ外周部と対向する該絶縁部材面を該ウエハ処理面の法線方向と略平行にしたことを特徴とするウエハ保持装置および保持方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H01L 21/3065

引用特許：

審査官引用 (10件)

プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-309257 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
静電吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-061865 出願人：株式会社日立製作所
プラズマ処理開始方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-059367 出願人：東京エレクトロン山梨株式会社

全件表示

前のページに戻る