特許
J-GLOBAL ID：200903052598974859
マイクロワイヤ、とそれを製造するための製造用デバイス並びにこのデバイスを用いたマイクロワイヤの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-320725
公開番号（公開出願番号）：特開2008-134460
出願日： 2006年11月28日
公開日（公表日）： 2008年06月12日
要約：
【課題】電子-光集積回路内部での配線及び光導波路に使用可能な1mm以上の長さを持つマイクロワイヤとその製造用デバイスおよびこのデバイスを用いたマイクロワイヤの製造方法を提供する。【解決手段】球体を分散させた媒液に対し、非親和性の表面を持つ基台1と、当該基台の表面に対し、前記媒液の毛細管現象を生じさせる間隔を持って配置した天井板4と、前記基台の表面に形成したドレイン溝3とからなるデバイスを用いて、前記天井板と前記基台の表面との間に、その一端が前記ドレイン溝に至るように前記媒液を保持し、前記ドレイン溝において前記媒液を徐々に蒸発させて、前記媒液保持部に分散させた球体を線状に濃縮して、微粒子体を線状に連ねることにより、マイクロワイヤを作製する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
160ミクロン以下の直径を有する球体を線状に連ねてなるマイクロワイヤであって、その長さが10μm超であることを特徴とするマイクロワイヤ
IPC (4件)：
G02B 6/00
, B82B 1/00
, B82B 3/00
, H01L 21/320
G02B6/00 301
, B82B1/00
, B82B3/00
, H01L21/88 B
2H038BA01
, 2H038BA10
, 2H038BA23
, 2H038BA25
, 5F033HH07
, 5F033HH08
, 5F033HH09
, 5F033HH13
, 5F033HH14
, 5F033HH15
, 5F033HH16
, 5F033HH17
, 5F033PP26
, 5F033WW01
