特許
J-GLOBAL ID:200903052676246822
振動ジャイロ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡田 全啓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-114744
公開番号(公開出願番号):特開2000-304546
出願日: 1999年04月22日
公開日(公表日): 2000年11月02日
要約:
【要約】【課題】 1つの素子で2つの向きに対する角速度を検出することができる振動ジャイロを得る。【解決手段】 振動ジャイロ10は、中間部材12を挟んで形成される振動板14,24を含む。振動板14は、接合した圧電体基板16,18を含み、その一方面側の中央部に分割された電極20a〜20dを形成するとともに、他方面側に全面電極22を形成する。振動板24も同様に、圧電体基板26,28と、分割電極と、全面電極32とで形成される。振動板14,24の分割電極、圧電体基板、全面電極で励振検出手段を構成する。振動板14側の2つの分割電極20c,20dを第1の検出部とし、振動板24側の2つの分割電極を第2の検出部とする。これらの検出部となる電極の組み合わせとしては、互いに直交するものを選択する。
請求項(抜粋):
対向して配置される2つの板状の振動板を備え、2つの前記振動板は座屈振動モードの振動を発生し、前記振動板の2次屈曲振動モードを縮退または近接させて、かつ、2つの前記振動板の板面に平行な軸を中心とした回転角速度が加わった際に発生する2次屈曲振動モードの振幅バランスの変位を検出してコリオリ力を検出する、振動ジャイロ。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (7件):
2F105AA08
, 2F105CC04
, 2F105CC11
, 2F105CC20
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD11
引用特許:
出願人引用 (7件)
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振動ジャイロおよび防振装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-071442
出願人:キヤノン株式会社
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ジャイロセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-054961
出願人:株式会社小野測器
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振動ジャイロ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-343440
出願人:株式会社村田製作所
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振動ジャイロ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-106871
出願人:株式会社村田製作所
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振動ジャイロ及びその駆動方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-260734
出願人:島田理化工業株式会社, 加川幸雄
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振動ジャイロ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-004862
出願人:株式会社村田製作所
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-113964
出願人:ミヨタ株式会社, 株式会社ワコー
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