特許
J-GLOBAL ID：200903052703528240

ウェハ移載装置

発明者：
谷山 育志

谷山 育志 について


出願人/特許権者：
神鋼電機株式会社

神鋼電機株式会社 について


代理人 (1件)： 内藤 哲寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-292225
公開番号（公開出願番号）：特開2002-110769
出願日： 2000年09月26日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：
【要約】【課題】ウェハキャリアに多段に収容された所定枚数のウェハに対して、それらの有無と位置とを検出して、前記ウェハを取り出す操作を簡単に行う。【解決手段】平面視において二股状に形成されたハンド本体部5の各先端部に、それぞれウェハ検出センサS1,S2 を相対向させて取付けると共に、前記ウェハ検出センサS1,S2 の光ファイバケーブル14を、前記ハンド本体部5に形成されたケーブル挿通孔15に挿通させた状態で収容させる。
請求項（抜粋）：
所定枚数のウェハが、ウェハキャリア内に多段に設けられた各ウェハ収容部に収容されていて、前記ウェハキャリアに、ほぼ水平に進入したウェハ移載ハンドが、前記各ウェハ収容部におけるウェハの有無と位置とを検出し、そのハンド本体部にウェハを1枚ずつ載置して取り出して移載するためのウェハ移載装置において、前記ハンド本体部は、平面視において二股状になっていて、それらの先端部に、一対のウェハ検出センサがそれぞれ取付けられていることを特徴とするウェハ移載装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/07
FI (5件)：
H01L 21/68 L ,  H01L 21/68 A ,  B25J 15/08 U ,  B25J 15/08 Z ,  B65G 49/07 C
Fターム (30件)：
3C007DS01 ,  3C007ES02 ,  3C007EV05 ,  3C007KS03 ,  3C007KS30 ,  3C007NS09 ,  3C007NS11 ,  3C007NS17 ,  3F061AA01 ,  3F061BA02 ,  3F061BE05 ,  3F061DB00 ,  3F061DB04 ,  3F061DB06 ,  3F061DD01 ,  3F061DD03 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA02 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031JA02 ,  5F031JA05 ,  5F031JA13 ,  5F031JA23
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 基板搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-117336   出願人：オリンパス光学工業株式会社
  • 基板搬送ロボット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-344159   出願人：日新電機株式会社
  • 半導体ウエハ認識装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-329766   出願人：株式会社ダイヘン
審査官引用 (3件)
  • 基板搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-117336   出願人：オリンパス光学工業株式会社
  • 基板搬送ロボット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-344159   出願人：日新電機株式会社
  • 半導体ウエハ認識装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-329766   出願人：株式会社ダイヘン

前のページに戻る

TOP

BOTTOM