基板搬送ロボット

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-344159
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163093
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】基板検出センサーの検出距離を長くしなくても、基板の撓みや反りの影響を受けることなくハンド上の基板の有無の検出を正確に行うことができるようにする。【解決手段】真空チャック10の吸着パッド22が基板16を吸着した状態で水平から傾くことのできる傾き角度をθ、吸着パッド22の上面から当該上面よりも下にある基板検出センサー12の上面までの距離をa、基板検出センサー12の基板検出が可能な検出距離をbとした場合、基板検出センサー12を、複数の真空チャック10の内の少なくとも一つの真空チャック10に、L=(b-a)/tanθで表される距離L以内に近づけて配置している。

請求項（抜粋）：

大気中においてハンド上に基板を保持して搬送するロボットであって、ハンド部に、傾き可能な吸着パッドを有していて基板を真空によって吸着する複数の真空チャックと、基板の有無を検出する基板検出センサーとを備える基板搬送ロボットにおいて、前記真空チャックの吸着パッドが基板を吸着した状態で水平から傾くことのできる傾き角度をθ、前記真空チャックの吸着パッドの上面から当該上面よりも下にある前記基板検出センサーの上面までの距離をa、前記基板検出センサーの基板検出が可能な検出距離をbとした場合、前記基板検出センサーを、前記複数の真空チャックの内の少なくとも一つの真空チャックに、L=(b-a)/tanθで表される距離L以内に近づけて配置していることを特徴とする基板搬送ロボット。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B25J 15/06 , B25J 19/02 , H01L 21/265 , H01J 37/317

FI (5件)：

H01L 21/68 A , B25J 15/06 B , B25J 19/02 , H01J 37/317 B , H01L 21/265 603 C

引用特許：

審査官引用 (11件)

フローティング型バキュームチャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-058207 出願人：タバイエスペック株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-140653 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
基板移載方法および基板移載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-116390 出願人：東芝電子エンジニアリング株式会社, 株式会社東芝

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