特許
J-GLOBAL ID：200903052738777641
位置検出方法、位置検出装置、露光装置及び露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-266440
公開番号（公開出願番号）：特開2003-077806
出願日： 2001年09月03日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：
【要約】【課題】アライメントマークの位置検出性能を適正に評価する。【解決手段】ステップS102では、光電変換素子により信号の取り込みを行い4本マークの各マーク位置を算出する。その時、複数回取り込む。ステップS103では、各マーク位置からマーク間隔を算出した後、ステップS104でウエハステージを微少駆動する。次に、駆動計測回数が所定数だけ終わったかどうかの判断を行い、未達成の場合、ステップS102に戻り再度マーク間隔の算出を行う。
請求項（抜粋）：
観察物体の位置を位置検出系により検出する位置検出方法において、前記観察物体上に配列された複数のアライメントマークの各マーク間隔を計測し、この計測結果として得られるマーク間隔情報に基づいて前記位置検出系の計測再現性を評価することを特徴とする位置検出方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
G03F 7/20 521
, H01L 21/30 525 W
, H01L 21/30 502 G
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
