特許
J-GLOBAL ID：200903073818569443

光学系の検査装置および該検査装置を備えた投影露光装置

発明者：
菅谷 綾子

菅谷 綾子 について

, 
中川 正弘

中川 正弘 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-222677
公開番号（公開出願番号）：特開平9-049781
出願日： 1995年08月08日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：
【要約】【課題】 実使用状態での光学系の収差状態および光学調整状態を再現性良く検査し、更に効率良く収差補正および光学調整を行う。【解決手段】 光学系の収差状態および光学調整状態を検査する検査装置において、光学系を介して形成されたパターンの像を検出するための像検出手段と、像検出手段において検出されるパターンの像をデフォーカスさせるためのデフォーカス手段と、像検出手段において各デフォーカス状態で検出されたパターンの像の位置変化に基づいて光学系の収差状態および光学調整状態を検査するための検査手段と、を備えている。
請求項（抜粋）：
光学系の収差状態および光学調整状態を検査する検査装置において、前記光学系を介して形成されたパターンの像を検出するための像検出手段と、前記像検出手段において検出される前記パターンの像をデフォーカスさせるためのデフォーカス手段と、前記像検出手段において各デフォーカス状態で検出された前記パターンの像の位置変化に基づいて前記光学系の収差状態および光学調整状態を検査するための検査手段と、を備えていることを特徴とする検査装置。
引用特許：
審査官引用 (12件)
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