感湿素子

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (3件)：角田嘉宏 , 古川安航 , 西谷俊男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-380246
公開番号（公開出願番号）：特開2004-170409
出願日： 2003年11月10日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】耐熱性・耐水性の問題のない感湿素子を提供する。【解決手段】支持基板上に形成された複数の電極と、該電極に接して形成されたセンサ膜としてのポリイミド膜を有する感湿素子であって、前記ポリイミド膜が、下記の一般式で表される構造単位を有する感湿素子である。ここで、Ar1は、少なくとも1つ以上の芳香環を有する4価の基を示し、D1は、O、CH2、C(CH3)2、C(CF3)2及びSから選択される基を表し、Xは水素原子、アルカリ金属、アンモニウム又は第4級アミンを表す。【化1】【選択図】なし

請求項（抜粋）：

支持基板上に形成された複数の電極と、該電極に接して形成されたセンサ膜としてのポリイミド膜を有する感湿素子であって、前記ポリイミド膜が、下記の一般式(1)で表される構造単位を有するものであることを特徴とする感湿素子。

IPC (2件)：

G01N27/12 , G01N27/04

FI (3件)：

G01N27/12 K , G01N27/12 M , G01N27/04 B

Fターム (19件)：

2G046AA09 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BC03 , 2G046DC13 , 2G046EA02 , 2G046EA04 , 2G046FA01 , 2G060AA01 , 2G060AB02 , 2G060AE19 , 2G060AF07 , 2G060AG10 , 2G060BB10 , 2G060HC06 , 2G060HC18 , 2G060HD03 , 2G060JA02

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開昭59-171844号公報
特開平2-253148号公報
特開昭59-171844

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