特許
J-GLOBAL ID：200903052796674240
ガラス微粒子堆積体製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩原 亮一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-218173
公開番号（公開出願番号）：特開2003-034540
出願日： 2001年07月18日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：
【要約】【課題】 反応容器内におけるガスの流れを制御し、スス体形成に関与しなかったススなどの浮遊ダスト類が速やかに排出されるようにしたガラス微粒子堆積体製造装置を提供すること。【解決手段】 反応容器内にターゲットロッドに向け拡開状の仕切構造体が設置され、所定の位置から排気口側では反応容器の空間部が排気口に向かって一様に狭くなっていくように構成されており、かつ、反応容器の空間部が狭くなり始める位置よりもバーナ側の側壁に、前記仕切構造体の壁面に向けて清浄空気や不活性ガスなどのガスを流出させるガス導入口が設けられていることを特徴とするガラス微粒子堆積体製造装置。
請求項（抜粋）：
反応容器内に支持され回転するターゲットロッドに対向させて複数本のガラス微粒子合成用バーナを配置し、前記ターゲットロッドとガラス微粒子合成用バーナとをターゲットロッドの回転軸に平行に相対的に往復運動させ、前記バーナで合成されるガラス微粒子をターゲットロッドの表面に一層ずつ順次堆積させてガラス微粒子堆積体を製造する装置であって、反応容器のバーナと相対する側の壁面に排気口が設けられており、該排気口の両側から反応容器の側壁に達する、ターゲットロッドに向け拡開状の壁面を有する仕切構造体が反応容器内をたて方向に仕切るように設けられており、該仕切構造体の壁面の夾角θが90°以下で、前記反応容器側壁又は前記仕切構造体までの距離の短い方をL、ガラス微粒子堆積体の外径をdとしたときにL>dであり、かつ、反応容器側壁の前記仕切構造体の取付け部よりバーナ側で、バーナ中心軸とターゲットロッドの回転軸を含む平面に対して対称な位置に、前記仕切構造体のガス導入口側の壁面に向けてガスを流出させるガス導入口が設けられていることを特徴とするガラス微粒子堆積体製造装置。
Fターム (1件)：
引用特許：
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