特許
J-GLOBAL ID：200903052805898050
薄膜温度センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷川 英和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-062824
公開番号（公開出願番号）：特開2006-242913
出願日： 2005年03月07日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：
【課題】自動車の燃焼排気ガス温度計測には、最高で1200°Cまで短時間対応可能であることが必要である。また、定常では、約900°Cで3000時間程度、温度を正確に測定する必要がある。使用上限温度、応答性、化学的安定性、感度などの改善も求められる。【解決手段】スパッタ法などを用いて、高融点で、高温で化学的に安定で、酸化、還元雰囲気中で使用可能な99%以上の純度を有するα型酸化アルミナ単結晶あるいは焼結体基板上にアルカリ土類金属Aを添加した化学的に安定なLa1-xAxBO3(B=Cr、Mnなど)の高融点薄膜を堆積させ、白金などを電極材料として、2端子、あるいは4端子構造とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
La1-xAxBO3(A=アルカリ土類金属添加物、B=Cr、または、Mn)の薄膜を具備する薄膜温度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
5E034BA09
, 5E034BB04
, 5E034BB08
, 5E034BC05
, 5E034DA02
, 5E034DC02
, 5E034DE07
