特許
J-GLOBAL ID:200903052808903801
アーク抑圧装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
矢野 敏雄
, 山崎 利臣
, 久野 琢也
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, ラインハルト・アインゼル
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-129601
公開番号(公開出願番号):特開2006-313752
出願日: 2006年05月08日
公開日(公表日): 2006年11月16日
要約:
【課題】ガス放電プロセスにおいてアークを効果的に消弧もしくは抑圧できるアーク抑圧装置を提供すること。【解決手段】アーク認識デバイス22とアーク抑圧デバイス18からなるアーク抑圧装置23.1において、アーク抑圧デバイス18は制御可能な少なくとも1つの抵抗を有しており、前記抵抗は通常モードにおいて僅かな抵抗値をとり、アーク認識デバイス22によりアークが識別された場合には高い抵抗値をとるように駆動制御される。それにより交流電圧発生器7.1において電力がアーク抑圧デバイス18内で消費され、ガス放電装置5には供給されない。【選択図】図1a
請求項(抜粋):
アーク抑圧デバイス(18,18.3)を有し、交流電圧(U)、特にMF交流電圧を用いて作動されるガス放電装置(5)におけるアーク消弧のためのアーク抑圧装置であって、
前記アーク抑圧デバイス(18,18.3)は少なくとも1つの制御可能な抵抗を有し、該制御可能な抵抗は、直列回路において交流電圧源からガス放電装置(5)の電極(3)まで延在する電気的線路(17)に設けられている形式のものにおいて、
前記制御可能な抵抗が、アークの発生していない作動モードにおいてアーク発生時のものよりも少ない抵抗値を有するように構成されていることを特徴とするアーク抑圧装置。
IPC (2件):
FI (2件):
引用特許:
出願人引用 (5件)
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ドイツ連邦共和国特許出願DE 41 27 505 C2 明細書
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特開昭58-045379
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高周波発生装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-268860
出願人:株式会社京三製作所
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審査官引用 (5件)
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特開昭58-045379
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特開昭58-045379
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高周波発生装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-268860
出願人:株式会社京三製作所
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