特許

J-GLOBAL ID：200903052872523850

基板移載用ロボット

発明者： 小瀧 仁
出願人/特許権者： 秋田日本電気株式会社
代理人 (1件)： 机 昌彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-336363
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142555
出願日： 2001年11月01日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】薄くて大型の基板をカセットからカセットへ移載する基板移載用ロボットにおいて、カセットに収納され下方に撓むガラス基板を上のガラス基板に干渉することなくガラス基板をカセットから引き出すことができるようにする。【解決手段】ロッド2aおよび突き上げ機構2とで構成される撓み矯正機構で撓んだガラス基板30を上下の基板と同じ撓み形状にしてから、ハンド部1の吸着パッド7でガラス基板30を保持し、カセットの棚25からガラス基板を載せたハンド部1を抜き出す。

請求項（抜粋）：

複数段の棚を有するカセットの該棚に収納され自重で下方に撓む基板を取り出すために前記カセット内に挿入されるとともに前記基板の撓みを矯正する撓み矯正機構と、前記カセットに挿入されるとともに該撓みが矯正された前記基板の中央部の裏面に接触し前記基板を吸着する吸着パッドを具備する基板保持機構と、前記基板を保持した前記基板保持機構を前記撓み矯正機構を伴って前記カセットから挿入または退出させる基板移動機構と、前記基板保持機構と前記撓み矯正機構と前記基板移動機構とを上下動させる上下動機構とを備えることを特徴とする基板用移載ロボット。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/06 ,  B25J 15/08 ,  B65G 1/00 547 ,  B65G 49/06

FI (5件)：

H01L 21/68 B ,  B25J 15/06 M ,  B25J 15/08 Z ,  B65G 1/00 547 B ,  B65G 49/06 A

Fターム (27件)：

3C007AS03 ,  3C007CT04 ,  3C007CT05 ,  3C007CU02 ,  3C007DS03 ,  3C007ES17 ,  3C007FS01 ,  3C007FU00 ,  3C007FU02 ,  3C007NS12 ,  3F022AA08 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022KK10 ,  3F022KK20 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA08 ,  5F031GA32 ,  5F031GA35 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031PA13

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ローダ・アンローダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-072559   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 基板移載用ハンド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-103426   出願人：株式会社日立製作所
• 板状物搬送用ロボット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-082506   出願人：日本電気株式会社