X線パネルセンサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-199171
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028736
出願日： 1998年07月14日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】良質の画像を得ることができるX線パネルセンサを提供する。【解決手段】このX線パネルセンサによれば、アナログ回路17a,17b,18a,18b,19は信号処理基板13の上面側に、デジタル回路20,21は下面側に配置されている。アナログ回路を介して出力されるMOS型イメージセンサ5の出力信号に重畳されるべきノイズ、すなわち、上側からアナログ回路に入射するX線のノイズ及び下側からアナログ回路に伝搬してくるデジタル回路及び外部からのノイズは、それぞれX線遮蔽板27及び第1金属薄膜13cによって抑制される。アナログ回路及び及びデジタル回路は信号処理基板13の上下面に搭載されているので、X線パネルセンサ全体の寸法は小型化することができる。

請求項（抜粋）：

入射したX線像を蛍光像に変換するシンチレータ及び前記シンチレータにより変換された蛍光像を撮像するMOS型イメージセンサを備えたX線パネルセンサにおいて、前記MOS型イメージセンサがその上側に固定される第1配線基板と、グランド電位を有する第1金属薄膜をその上下面間に有し、前記第1配線基板の下側に対向すると共に前記第1配線基板に電気的に接続されるように配置された第2配線基板と、前記第1及び第2配線基板間に介在しグランド電位を有するX線遮蔽板と、前記第2配線基板の上面側に設けられ前記MOS型イメージセンサからの出力信号をアナログ処理するアナログ回路と、前記第2配線基板の下面側に設けられ前記MOS型イメージセンサの駆動信号のタイミングを生成するデジタル回路と、を備えることを特徴とするX線パネルセンサ。

IPC (2件)：

G01T 1/20 , G01T 1/00

FI (2件)：

G01T 1/20 Z , G01T 1/00 B

Fターム (11件)：

2G088FF02 , 2G088GG15 , 2G088GG19 , 2G088JJ05 , 2G088JJ06 , 2G088JJ08 , 2G088JJ29 , 2G088JJ31 , 2G088JJ33 , 2G088JJ37 , 2G088LL11

引用特許：

出願人引用 (5件)

光電変換装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-027838 出願人：キヤノン株式会社
固体撮像装置とそれを用いたカメラ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-218860 出願人：ソニー株式会社
特開平2-021285

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審査官引用 (10件)

光電変換装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-027838 出願人：キヤノン株式会社
固体撮像装置とそれを用いたカメラ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-218860 出願人：ソニー株式会社
特開平2-021285

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