特許
J-GLOBAL ID：200903053104637371

磁気抵抗効果多層膜

発明者：
川田 常宏

川田 常宏 について

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三俣 千春

三俣 千春 について

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藤井 重男

藤井 重男 について


出願人/特許権者：
日立金属株式会社

日立金属株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-071401
公開番号（公開出願番号）：特開2001-267126
出願日： 2000年03月15日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：
【要約】【課題】 X-Mnタイプの反強磁性材料を使用したスピンバルブ型磁気抵抗効果多層膜において交換結合磁界を向上する。【解決手段】 基板上に下地層、強磁性体層(フリー層)、非磁性層、強磁性体層(ピン層)、反強磁性体層および保護層の順で積層された多層膜構造において、磁界中熱処理がスピンバルブの特性に悪影響をおよぼさないように、保護膜を結晶化させた構造とする。
請求項（抜粋）：
磁気抵抗効果を発生する強磁性体層と前記強磁性体層に直接接する反強磁性体層とを備えた磁気抵抗効果多層膜において、前記反強磁性体層はX(白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、ルテニウム、オスミウムのうちいずれか1種または2種以上の元素)とMnの合金からなり且つ熱処理されたものであり、前記反強磁性体層と直接接する保護膜を有し、前記保護膜はIV 、V、VI属の金属元素のうちいずれか1種または2種以上で構成され、前記保護膜の少なくとも一部は結晶化していることを特徴とする磁気抵抗効果多層膜。
IPC (4件)：
H01F 10/12 ,  G01R 33/09 ,  G11B 5/39 ,  H01L 43/08
FI (4件)：
H01F 10/12 ,  G11B 5/39 ,  H01L 43/08 Z ,  G01R 33/06 R
Fターム (13件)：
2G017AD54 ,  2G017AD63 ,  2G017AD65 ,  5D034BA05 ,  5D034BA17 ,  5D034DA07 ,  5E049AA10 ,  5E049AC05 ,  5E049BA12 ,  5E049CB01 ,  5E049DB02 ,  5E049DB12 ,  5E049JC01
引用特許：
審査官引用 (3件)

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