顕微鏡装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木内修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-246128
公開番号（公開出願番号）：特開2000-075212
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】紫外光又は極紫外光と可視光による観察とを選択可能な顕微鏡装置において、紫外光と可視光とを確実に分離できる顕微鏡装置を提供する。【解決手段】可視光で試料51を照明する可視光照明系と、紫外光で試料51を照明する紫外光照明系と、可視光照明系によって照明された試料51を観察するための可視光観察系と、紫外光照明系によって照明された試料51を観察するための紫外光観察系とを備える顕微鏡装置において、ハーフミラー28Aを可視光照明系光路に配置したとき、紫外光の可視光照明系への入射を遮断する第2の照明光選択部材18Bを可視光観察系光路に移動させ、全反射ミラー18Aを紫外光照明系光路に配置されたとき、可視光の紫外光照明系への入射を遮断する第1の照明光選択部材28Bを紫外光観察系光路に移動させる。

請求項（抜粋）：

可視光で試料を照明する可視光照明系と、紫外光で前記試料を照明する紫外光照明系と、前記可視光照明系によって照明された前記試料を観察するための可視光観察系と、前記紫外光照明系によって照明された前記試料を観察するための紫外光観察系とを備える顕微鏡装置において、前記可視光を反射させて前記試料に導くとともに、前記試料からの反射光を透過させて前記可視光観察系へ導く第1の光学部材と、前記可視光の前記紫外光観察系への入射を遮断する第1の照明光選択部材と、前記紫外光を反射させて前記試料に導くとともに、前記試料からの反射光を反射させて前記紫外光観察系へ導く第2の光学部材と、前記紫外光の前記可視光観察系への入射を遮断する第2の照明光選択部材とを備え、前記第1の光学部材及び前記第1の照明光選択部材が、それぞれ前記可視光照明系光路に選択的に配置可能であり、前記第2の光学部材及び前記第2の照明光選択部材が、それぞれ前記紫外光照明系光路に選択的に配置可能であることを特徴とする顕微鏡装置。

IPC (2件)：

G02B 21/16 , G02B 21/18

FI (2件)：

G02B 21/16 , G02B 21/18

Fターム (15件)：

2H052AB10 , 2H052AB24 , 2H052AB30 , 2H052AC02 , 2H052AC12 , 2H052AC14 , 2H052AC31 , 2H052AC34 , 2H052AD06 , 2H052AD31 , 2H052AD32 , 2H052AD33 , 2H052AD34 , 2H052AF14 , 2H052AF21

引用特許：

出願人引用 (5件)

レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-038212 出願人：ホーヤ株式会社
ケージド試薬開裂用光照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-027980 出願人：株式会社ニコン
紫外線顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-114922 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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審査官引用 (5件)

レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-038212 出願人：ホーヤ株式会社
ケージド試薬開裂用光照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-027980 出願人：株式会社ニコン
紫外線顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-114922 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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