特許
J-GLOBAL ID:200903053264662623

金属薄板検査方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高矢 諭 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-366350
公開番号(公開出願番号):特開2000-159340
出願日: 1998年12月24日
公開日(公表日): 2000年06月13日
要約:
【要約】【課題】 裏面検査時の不感帯を小さくし、裏面側からの斜光照明を使用した場合でも搬送機構が照明を遮らないようにし、搬送に起因する発塵を抑える。【解決手段】 金属薄板であるワーク10の幅に合わせて配置した2列の搬送ローラ30をパスラインとし、該搬送ローラ30でワーク10の外縁部を保持して搬送方向に移動させ、検査位置で停止させた後、前記搬送ローラ30の代わりにワーク支持部40でワーク10を支持し、検査位置近傍の搬送ローラ30を退避させて検査を行う。
請求項(抜粋):
金属薄板の幅に合わせて配置した2列の搬送ローラをパスラインとし、該搬送ローラで金属薄板の外縁部を保持して搬送方向に移動させ、検査位置で停止させた後、前記搬送ローラの代わりにワーク支持部で金属薄板を支持し、検査位置近傍の搬送ローラを退避させて検査を行うことを特徴とする金属薄板検査方法。
IPC (3件):
B65G 47/88 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 21/89
FI (4件):
B65G 47/88 D ,  G01N 1/00 101 B ,  G01N 21/89 T ,  G01N 21/89 610 B
Fターム (14件):
2G051AA37 ,  2G051AA62 ,  2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G051DA13 ,  3F017EA01 ,  3F017FA09
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • カラーフィルタ基板のハンドリング装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-025797   出願人:日立電子エンジニアリング株式会社
  • 基板表面処理装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-173300   出願人:大日本スクリーン製造株式会社
  • 基板搬送装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-282908   出願人:大日本スクリーン製造株式会社
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