走査型プローブ顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松下義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-106650
公開番号（公開出願番号）：特開2004-309429
出願日： 2003年04月10日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】S/N比を向上させて、より正確に被測定物の表面形状や物性を測定することができる走査型プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】カンチレバー10の先端に対向する被測定物Sの測定領域から放射される観察光L3を集光し受光する観察光受光機構30と、カンチレバー10に観察光L3と異なる波長の検出光L1を照射してカンチレバー10で反射した検出光L1を測定し、カンチレバー10の変位を検出する変位検出機構20とを備え、検出光L1の光路と観察光L3の光路とが、少なくとも一部で共通光路を透過するように設定され、該共通光路上に、観察光L3の透過率が検出光L1よりも高い光学特性を有した誘電体ビームスプリッタ(光学フィルタ)32が配設されている走査型プローブ顕微鏡1を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

先端に探針を有するカンチレバーを被測定物の表面に近接又は接触させた状態で、カンチレバーと被測定物とを相対的に移動させて被測定物の表面形状又は物性を測定する走査型プローブ顕微鏡であって、前記カンチレバーの先端に対向する前記被測定物の測定領域から放射される観察光を集光し受光する観察光受光機構と、前記カンチレバーに前記観察光と異なる波長の検出光を照射してカンチレバーで反射した検出光を測定し、カンチレバーの変位を検出する変位検出機構とを備え、前記検出光の光路と前記観察光の光路とが、少なくとも一部で共通光路を透過するように設定され、前記共通光路上に、前記観察光の透過率が前記検出光よりも高い光学特性を有した光学フィルタが配設されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N13/14 , G01B11/30 , G01B21/30

FI (3件)：

G01N13/14 A , G01B11/30 Z , G01B21/30

Fターム (24件)：

2F065AA01 , 2F065AA49 , 2F065CC00 , 2F065CC16 , 2F065DD04 , 2F065GG01 , 2F065JJ03 , 2F065JJ16 , 2F065JJ18 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL20 , 2F065LL21 , 2F065LL46 , 2F069AA60 , 2F069DD19 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG11 , 2F069HH04 , 2F069HH30 , 2F069MM04 , 2F069MM24 , 2F069MM38

引用特許：

審査官引用 (4件)

走査型近接場顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-117210 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
走査型近接場光学顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-028194 出願人：オリンパス光学工業株式会社
走査型近接場光学顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-338464 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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