特許
J-GLOBAL ID：200903084872996766
走査型近接場光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338464
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153785
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】【課題】本発明は、プローブ先端近傍とピンホールとが光学的に共軛な位置にあるよう調整する際に、時間がかかることなく、位置ずれがなく、簡便になし得るようにした走査型近接場光学顕微鏡を提供する。【解決手段】本発明の一態様によると、不透明先端部をもつプローブと、上記プローブの先端部近辺に光を照射する照射手段と、上記照射手段からの光によって生じた散乱光を集光して焦点を結ばせる光学系と、上記焦点に置かれたピンホールと、上記ピンホールを通過した散乱光を検出する検出手段とを具備する散乱型の走査型近接場光学顕微鏡であり、上記ピンホールに対応する位置にある点光源から光を照射することにより、少なくとも上記光学系の一部を経由して、上記プローブ先端近辺に焦点を結ばせる位置合わせ光照射手段をさらに具備することを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡が提供される。
請求項（抜粋）：
不透明先端部をもつプローブと、上記プローブの先端部近辺に光を照射する照射手段と、上記照射手段からの光によって生じた散乱光を集光して焦点を結ばせる光学系と、上記焦点に置かれたピンホールと、上記ピンホールを通過した散乱光を検出する検出手段とを具備する散乱型の走査型近接場光学顕微鏡であり、光学的に上記ピンホールに対応する位置に開口を置き、光を照射することにより、少なくとも上記光学系の一部を経由して、上記プローブの先端近辺に焦点を結ばせる位置合わせ光照射手段を、さらに、具備することを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。
引用特許：
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