特許
J-GLOBAL ID：200903005352547481
質量流量制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-050829
公開番号（公開出願番号）：特開2006-153893
出願日： 2006年02月27日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：
【課題】検定用タンクを組み込んで装置自体で質量流量の検定動作を行うようにした質量流量制御装置を提供する。【解決手段】流体を流す流路6に、該流路に流れる流体の質量流量を検出して流量信号を出力する質量流量検出手段8と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって質量流量を制御する流量制御弁機構10とを介設し、外部から入力される流量設定信号と流量信号とに基づいて流量制御弁機構を制御する制御手段18を設けてなる質量流量制御装置において、流路に、該流路を開閉する検定用バルブ部42と、所定の容量を有する検定用タンク部44と、流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段46とをそれぞれ設け、検定用バルブと検定用タンク部と圧力検出手段とを用いて質量流量検定動作を行うように制御する検定制御手段48を備えるように構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
流体を流す流路に、該流路に流れる流体の質量流量を検出して流量信号を出力する質量流量検出手段と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって質量流量を制御する流量制御弁機構とを介設し、外部から入力される流量設定信号と前記流量信号とに基づいて前記流量制御弁機構を制御する制御手段を設けてなる質量流量制御装置において、
前記流路に、該流路を開閉する検定用バルブ部と、所定の容量を有する検定用タンク部と、前記流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段とをそれぞれ設け、前記検定用バルブと前記検定用タンク部と前記圧力検出手段とを用いて質量流量検定動作を行うように制御する検定制御手段を備えるように構成したことを特徴とする質量流量制御装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (2件)
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