特許
J-GLOBAL ID:200903053300194259
半導体パッケージ用カバーガラス及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
江原 省吾
, 田中 秀佳
, 白石 吉之
, 城村 邦彦
, 熊野 剛
, 山根 広昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-035383
公開番号(公開出願番号):特開2005-126311
出願日: 2004年02月12日
公開日(公表日): 2005年05月19日
要約:
【課題】半導体パッケージ用カバーガラスの透光面を研磨することなく平滑にすることによって、研磨に伴う各種問題を解消することを技術的課題とする。【解決手段】この半導体パッケージ用カバーガラス10は、板厚方向に相対向する第1透光面10a及び第2透光面10bと、周縁を構成する側面10cとを備えた板状ガラスである。このカバーガラス10の寸法は、14×16×0.5mmであり、第1透光面10a及び第2透光面10bは無研磨面であり、その表面粗さ(Ra)は、いずれも0.5nm以下である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
透光面が無研磨面であり、その表面粗さ(Ra)が1.0nm以下であることを特徴とする半導体パッケージ用カバーガラス。
IPC (3件):
C03C3/091
, C03C3/093
, H01L27/14
FI (3件):
C03C3/091
, C03C3/093
, H01L27/14 D
Fターム (81件):
4G062AA08
, 4G062BB05
, 4G062DA06
, 4G062DB03
, 4G062DB04
, 4G062DC03
, 4G062DC04
, 4G062DD01
, 4G062DE01
, 4G062DE02
, 4G062DE03
, 4G062DF01
, 4G062EA01
, 4G062EB01
, 4G062EC01
, 4G062ED01
, 4G062ED02
, 4G062ED03
, 4G062ED04
, 4G062EE01
, 4G062EE02
, 4G062EE03
, 4G062EE04
, 4G062EF01
, 4G062EF02
, 4G062EF03
, 4G062EF04
, 4G062EG01
, 4G062EG02
, 4G062EG03
, 4G062EG04
, 4G062FA01
, 4G062FB01
, 4G062FC01
, 4G062FD01
, 4G062FE01
, 4G062FF01
, 4G062FG01
, 4G062FH01
, 4G062FJ01
, 4G062FK01
, 4G062FL01
, 4G062GA01
, 4G062GB01
, 4G062GC01
, 4G062GD01
, 4G062GE01
, 4G062HH01
, 4G062HH03
, 4G062HH05
, 4G062HH07
, 4G062HH09
, 4G062HH11
, 4G062HH13
, 4G062HH15
, 4G062HH17
, 4G062HH20
, 4G062JJ01
, 4G062JJ03
, 4G062JJ05
, 4G062JJ07
, 4G062JJ10
, 4G062KK01
, 4G062KK03
, 4G062KK05
, 4G062KK07
, 4G062KK10
, 4G062MM05
, 4G062MM06
, 4G062MM07
, 4G062MM28
, 4G062NN29
, 4G062NN30
, 4G062NN32
, 4G062NN40
, 4M118AA05
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118HA02
, 4M118HA40
引用特許:
出願人引用 (3件)
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特許第2660891号公報
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低放射線ガラス
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-361428
出願人:日本電気硝子株式会社
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固体撮像素子用カバーガラス
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-026010
出願人:日本電気硝子株式会社
審査官引用 (3件)
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