特許
J-GLOBAL ID:200903053427394990

補償走査光学顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 村瀬 一美
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-553106
公開番号(公開出願番号):特表2008-529082
出願日: 2005年12月29日
公開日(公表日): 2008年07月31日
要約:
補償走査光学顕微鏡10は、物体平面の異なる部位から像を得ると共に当該像が得られるところの物体平面の部位の関数として変動する少なくともいくらかの収差を有する好ましくは湾曲した像面を形成するための走査レンズ集合体16を有する。ステアリングミラー14は、視野を選択すると共に物体12からの光であって物体平面から最終像平面までの光路に沿う光を操縦する。補償光学素子18は物体12からの操縦された光を受けると共に視野位置に依存する光学収差を補償し、補助的光学20はステアリングミラー14から補償光学素子18を通って最終像平面へと移動するように光を条件付けると共に集束するように光路の少なくとも一部に沿って配置される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
選択された視野位置の関数として光学収差が変化するように物体の異なる前記選択された視野位置から有限の像を形成するための走査レンズ集合体であって一つの像面を形成する走査レンズ集合体と、各前記視野位置からの光であって前記物体から最終像平面までの光路に沿い波面を有する光を操縦する像操縦手段と、前記視野位置に依存する光学収差のうちの少なくともいくらかを補償して前記光路中の前記波面の形状に影響を及ぼすと共に前記光路に沿う前記光の波面に選択された形状を導入する補償光学素子と、前記補償光学素子に対する光及び前記最終像平面に対する光を条件付けするための前記光路の少なくとも一部に沿った補助的結像光学と、前記最終像平面に像を投射する最終結像光学とを含む補償走査光学顕微鏡。
IPC (1件):
G02B 21/00
FI (1件):
G02B21/00
Fターム (8件):
2H052AA07 ,  2H052AB10 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC18 ,  2H052AD02 ,  2H052AF06 ,  2H052AF14
引用特許:
審査官引用 (5件)
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