走査型顕微鏡、走査型顕微鏡法における結像のための光学装置および方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-236488
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131649
出願日： 2001年08月03日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】試料(11)用の照射光ビーム(14)を発生するための好ましくはレーザである光源(1)と、照射光ビーム(14)を偏向するための走査装置と、を備え、高速かつ信頼性の高い画像データ獲得およびコンパクトな構造を実現する走査型顕微鏡、特に共焦点走査型顕微鏡を提供する。また、試料(11)用の照射光ビーム(14)を発生するための好ましくはレーザである光源(1)と、照射光ビーム(14)を偏向するための走査装置と、を利用した走査型顕微鏡法、特に共焦点走査型顕微鏡法における結像のための方法を提供する。【解決手段】走査装置が少なくとも1つのマイクロミラー(16)を有するように構成され改良される。また、上記方法において少なくとも1つのマイクロミラー(16)が走査装置の範囲で用いられる。

請求項（抜粋）：

試料(11)用の照射光ビーム(14)を発生するための好ましくはレーザである光源(1)と、前記試料に沿って前記照射光ビーム(14)を偏向するための走査装置とを備えた走査型顕微鏡、特に共焦点走査型顕微鏡であって、前記走査装置が少なくとも2つの方向に移動することができる少なくとも1つのマイクロミラー(16)を有することを特徴とする走査型顕微鏡。

IPC (4件)：

G02B 21/06 , G02B 5/10 , G02B 7/198 , G02B 26/10 104

FI (4件)：

G02B 21/06 , G02B 5/10 B , G02B 26/10 104 Z , G02B 7/18 B

Fターム (23件)：

2H042DA20 , 2H042DD11 , 2H042DE04 , 2H042DE07 , 2H043BB05 , 2H043BB07 , 2H043BC01 , 2H045AB10 , 2H045AB13 , 2H045AB38 , 2H045AB53 , 2H045AB73 , 2H045BA13 , 2H045CA92 , 2H045DA31 , 2H052AA07 , 2H052AA09 , 2H052AC04 , 2H052AC15 , 2H052AC34 , 2H052AD31 , 2H052AF02 , 2H052AF06

引用特許：

審査官引用 (6件)

顕微鏡観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-205092 出願人：レーザーテック株式会社
顕微鏡におけるアダプティブ光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-214675 出願人：カールツァイスイエナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
特開昭62-209510

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