プラズマ発生用電源装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田澤博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-087288
公開番号（公開出願番号）：特開平11-288796
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】力率が高く、小型で安価な電源システムを提供する。【解決手段】放電負荷5に力率補償用の並列インダクタ6と力率補償用の直列インダクタ7を接続する。特に、放電負荷5の合成容量と共振するように並列インダクタ6、直列インダクタ7のインダクタンスを設定することにより、力率改善度合いを高く設計することができる。

請求項（抜粋）：

2つの電極間で等価的に誘電体静電容量とガス静電容量とを有し、放電してガスを励起し、プラズマを発生させる放電負荷に対し、トランスを介して交流電力を供給するプラズマ発生用電源装置において、前記放電負荷に対して並列に接続された並列インダクタと、前記放電負荷に対して直列に接続された直列インダクタとを備えたことを特徴とするプラズマ発生用電源装置。

IPC (2件)：

H05H 1/24 , H02M 9/06

FI (2件)：

H05H 1/24 , H02M 9/06 D

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭61-059789
特開昭54-107894
ダイヤモンド膜を堆積させる装置と方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-038090 出願人：サンゴバン/ノートンインダストリアルセラミックスコーポレイション, セレステック,インコーポレイティド

審査官引用 (12件)

特開昭61-059789
特開昭54-107894
ダイヤモンド膜を堆積させる装置と方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-038090 出願人：サンゴバン/ノートンインダストリアルセラミックスコーポレイション, セレステック,インコーポレイティド

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