プラズマエッチングレジスト及びエッチング法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308434
公開番号（公開出願番号）：特開2001-125273
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】プラズマエッチング可能なエッチィングレジストおよびエッチング法を提供することである。【解決手段】 (1)末端ハ-フエステル化シロキサンオリゴマ-、(2)感光性モノマ-、(3)光重合開始剤、(4)微細無機フィラ-および(5)溶媒を含有してなり、各成分の割合が、(1)末端ハ-フエステル化オリゴマ-100重量部に対して、(2)感光性モノマ-0.1〜300重量部、(3)光重合開始剤0.01〜30重量部、(4)微細無機フィラ-1〜100重量部および(5)溶媒0〜200重量部であるプラズマエッチングレジスト、およびこのレジストを使用するエッチング法。

請求項（抜粋）：

(1)末端ハ-フエステル化シロキサンオリゴマ-、(2)感光性モノマ-、(3)光重合開始剤、(4)微細無機フィラ-および(5)溶媒を含有してなり、各成分の割合が、(1)末端ハ-フエステル化オリゴマ-100重量部に対して、(2)感光性モノマ-0.1〜300重量部、(3)光重合開始剤0.01〜30重量部、(4)微細無機フィラ-1〜100重量部および(5)溶媒0〜200重量部であるプラズマエッチングレジスト。

IPC (4件)：

G03F 7/075 511 , C08G 73/10 , G03F 7/037 , G03F 7/36

FI (4件)：

G03F 7/075 511 , C08G 73/10 , G03F 7/037 , G03F 7/36

Fターム (98件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AA10 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC31 , 2H025BC40 , 2H025BC69 , 2H025BC78 , 2H025BC83 , 2H025BC85 , 2H025CA00 , 2H025CC03 , 2H025CC08 , 2H025DA40 , 2H025FA20 , 2H096AA25 , 2H096AA26 , 2H096BA06 , 2H096EA02 , 2H096GA37 , 4J043PA04 , 4J043PA08 , 4J043PA09 , 4J043PA19 , 4J043PC015 , 4J043PC016 , 4J043PC085 , 4J043PC086 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043RA35 , 4J043RA39 , 4J043SA06 , 4J043SA43 , 4J043SA62 , 4J043SA64 , 4J043SA71 , 4J043SB02 , 4J043SB03 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA022 , 4J043UA032 , 4J043UA042 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA151 , 4J043UA262 , 4J043UA662 , 4J043UA672 , 4J043UA762 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB061 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB131 , 4J043UB152 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB351 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043VA012 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA031 , 4J043VA041 , 4J043VA051 , 4J043VA061 , 4J043VA062 , 4J043VA081 , 4J043VA092 , 4J043VA102 , 4J043WA09 , 4J043WA16 , 4J043XA15 , 4J043XA16 , 4J043XA17 , 4J043XA19 , 4J043XB02 , 4J043XB20 , 4J043YB06 , 4J043YB19 , 4J043ZB22 , 4J043ZB50

引用特許：

出願人引用 (5件)

感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-276463 出願人：信越化学工業株式会社
特開平1-121364
特許第3887982号

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審査官引用 (5件)

感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-276463 出願人：信越化学工業株式会社
特開平1-121364
特許第3887982号

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