特許
J-GLOBAL ID：200903053649660249
オゾン水生成装置、洗浄処理装置及びオゾン水生成方法、洗浄処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-229357
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053049
出願日： 1999年08月13日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 効率良くオゾン水を生成することが可能なオゾン水生成装置及び洗浄処理装置を提供すること。【解決手段】オゾンガスを水に溶解させてオゾン水を発生させるオゾン水生成装置において、水の電解及び水の電解により生じた酸素に対して放電することによりオゾンガスを生成するセル23と、水を所定の圧力で供給するポンプ22と、セル23及びポンプ22に接続され、オゾンガスを水に溶解させるガス溶解モジュール50と、セル23、ポンプ22及びガス溶解モジュール50のいずれかにおいて、水圧若しくはオゾンガス圧の少なくとも一つを検出するセンサ53,54と、センサ53,54での圧力検出結果に基いて水圧若しくはオゾンガス圧の少なくとも一つを調整するエアオペレーションバルブ55とを具備する。
請求項（抜粋）：
オゾンガスを水に溶解させてオゾン水を生成するオゾン水生成装置において、オゾンガスを発生させるオゾンガス発生手段と、水を所定の圧力で供給する供給手段と、上記オゾンガス発生手段及び供給手段に接続され、オゾンガスを所定圧力で上記加圧された水に溶解させる溶解手段と、上記オゾンガス発生手段、供給手段及び溶解手段のいずれかにおいて、水圧若しくはオゾンガス圧の少なくとも一つを検出する圧力検出手段と、上記圧力検出手段での圧力検出結果に基づいて水圧若しくはオゾンガス圧の少なくとも一つを調整する圧力調整手段と、を具備することを特徴とするオゾン水生成装置。
IPC (5件)：
H01L 21/304 648
, B01F 1/00
, B08B 3/08
, C01B 13/10
, C02F 1/46
H01L 21/304 648 G
, B01F 1/00 A
, B08B 3/08 Z
, C01B 13/10 D
, C02F 1/46 Z
3B201AA03
, 3B201AB01
, 3B201AB34
, 3B201AB42
, 3B201BB24
, 3B201BB89
, 3B201BB90
, 3B201BB93
, 3B201BB98
, 3B201CB01
, 3B201CC21
, 3B201CD42
, 3B201CD43
, 4D061DB09
, 4D061EA03
, 4D061EB13
, 4D061EB37
, 4D061EB39
, 4D061ED20
, 4D061FA20
, 4D061GA01
, 4D061GA18
, 4D061GA30
, 4D061GC01
, 4D061GC20
, 4G035AA01
, 4G042CA01
, 4G042CA04
, 4G042CE01
