特許
J-GLOBAL ID：200903053651029661
透光性イットリア焼結体およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-251086
公開番号（公開出願番号）：特開2007-063069
出願日： 2005年08月31日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：
【課題】 耐プラズマ性、耐食性に優れ、しかも、透光性にも優れており、半導体製造装置や光学用部材、特に、プラズマ処理装置用部材において腐食性ガスに曝されるのぞき窓、レンズ、放電管等の透光性部材に好適に用いることができるイットリア焼結体およびその製造方法を提供する。【解決手段】 純度99%以上であり、一次粒子の粒径がD90で1.5μm以下であるイットリア原料粉末に、ジルコニアを添加し、還元雰囲気または真空中で1700°C以上2000°C以下で焼成することにより、0.02重量%以上5%重量以下のジルコニアを含み、平均結晶粒径が1μm以上100μm以下であり、可視光の直線透過率が1mm厚で70%以上である透光性イットリア焼結体を得る。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
0.02重量%以上5%重量以下のジルコニアを含有し、平均結晶粒径が1μm以上100μm以下であり、可視光の直線透過率が1mm厚で70%以上であることを特徴とする透光性イットリア焼結体。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
審査官引用 (9件)
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