特許

J-GLOBAL ID：200903053689690213

サセプタ及びその製造方法

発明者： 石塚 雅之 ,  稲妻地 浩 ,  北川 高郎 ,  大塚 剛史 ,  吉岡 良樹
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-259589
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085505
出願日： 1999年09月13日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】 サセプタ15に内蔵された内部電極12に確実に通電可能なサセプタ15、及び該サセプタ15を歩留まりよく、廉価に製造することが可能なサセプタ15の製造方法を得る。【解決手段】 支持板13に固定孔16,16を形成し、ついで、この固定孔16,16に窒化アルミニウム-タングステン複合導電性焼結体からなる給電用端子14,14を、支持板13を貫通するようにして固定し、ついで、この支持板13上に、給電用端子14に接するように、窒化アルミニウム-タングステン複合導電性材料からなる塗布材を塗布して乾燥させ、ついで、この塗布面を介して支持板13と載置板11とを重ね合わせ、加圧下にて熱処理してこれらを一体化すると共に、窒化アルミニウム-タングステン複合導電性焼結体からなる内部電極12を形成してサセプタ15を得る。

請求項（抜粋）：

試料を載置する載置板と、この載置板と一体化される支持板と、これら載置板と支持板との間に設けられた内部電極と、この内部電極に接するように前記支持板に貫通して設けられた給電用端子とからなり、前記内部電極と給電用端子が窒化アルミニウム-タングステン複合導電性焼結体からなるものであるサセプタ。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/3065 ,  C23C 16/50

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/302 B

Fターム (16件)：

4K030GA02 ,  4K030KA14 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  4K030LA15 ,  4K030LA18 ,  5F004BB29 ,  5F031DA13 ,  5F031EA01 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA17 ,  5F031HA18 ,  5F031HA37 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ウェハ保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-041024   出願人：京セラ株式会社
• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-085281   出願人：住友大阪セメント株式会社
• ウエハー加熱装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-303289   出願人：日本碍子株式会社