ウェハ保持装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-041024
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236599
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【構成】窒化アルミニウム質焼結体から成る基体11中に、W,Mo,WC,TiC,TiNの少なくとも一種を90〜99重量%と、AlNを1〜10重量%からなる混合体を発熱抵抗体12として埋設してウェハ保持装置を構成する。【効果】基体11と発熱抵抗体12との密着性を高くして、急速昇温時にも基体11の亀裂や発熱抵抗体12の剥離、断線等が生じることを防止できる。そのため、600°Cまで10分で急速昇温することが可能である高性能のウェハ保持装置を提供できる。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム質焼結体から成る基体中に、W,Mo,WC,TiC,TiNの少なくとも一種を90〜99重量%と、AlNを1〜10重量%からなる混合体を発熱抵抗体として埋設してなるウェハ保持装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , C23C 16/46 , C23F 4/00 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (5件)：

H01L 21/68 N , C23C 16/46 , C23F 4/00 A , H01L 21/205 , H01L 21/302 C

引用特許：

審査官引用 (6件)

セラミックスヒーター
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-302351 出願人：日本碍子株式会社
特開昭63-081787
特開平4-083783

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