特許
J-GLOBAL ID：200903053737502319

移送装置及びこれを備える有機物蒸着装置

発明者：
朴 宰完

朴 宰完 について


出願人/特許権者：
三星モバイルディスプレイ株式會社

三星モバイルディスプレイ株式會社 について


代理人 (3件)： 佐伯 義文 ,  渡邊 隆 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-207302
公開番号（公開出願番号）：特開2009-299176
出願日： 2008年08月11日
公開日（公表日）： 2009年12月24日
要約：
【課題】高温及び高真空の環境下において安全性を高めることができる移送装置及びこれを備える有機物蒸着装置を提供する。【解決手段】真空チャンバと、真空チャンバ内に設けられ、基板が装着されるステージと、基板に有機物を蒸発させる蒸着源と、蒸着源に連結され、真空チャンバの外側に引き出される工程ユーティリティラインと、蒸着源を基板と平行に移動させ、工程ユーティリティラインが内設される移送装置とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空チャンバと、 該真空チャンバ内に設けられ、基板が装着されるステージと、 前記基板に有機物を蒸発させる蒸着源と、 該蒸着源に連結され、前記真空チャンバの外側に引き出される工程ユーティリティラインと、 前記蒸着源を前記基板と平行に移動させ、前記工程ユーティリティラインが内設される移送装置と を備えることを特徴とする有機物蒸着装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (3件)：
C23C14/24 C ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (10件)：
3K107AA01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG32 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029CA01 ,  4K029DA03 ,  4K029DB11 ,  4K029HA01
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 日本特許公開第1995-201694
  • 日本特許公開第2000-068219
審査官引用 (4件)
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