特許
J-GLOBAL ID：200903053791566705
光触媒体およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中村 恒久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-207482
公開番号（公開出願番号）：特開平11-047609
出願日： 1997年08月01日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：
【要約】【課題】 酸化チタン光触媒膜を何層にも積層して形成し、高活性化な光触媒体を得る。【解決手段】 真空室1内の保持体6の任意の外周面6aに基体7を取り付け、スパッタリングしながら保持体6を中心軸線L周りに連続的または間欠的に回転させる。基体7上に酸化チタンが成膜されて積層されていき、複数の層となる。
請求項（抜粋）：
スパッタ法により基体上に酸化チタン光触媒膜が形成され、前記基体を連続的または間欠的に移動させながら前記光触媒膜を積層していくことを特徴とする光触媒体の製造方法。
IPC (4件)：
B01J 35/02
, B01J 21/06
, B01J 37/02 301
, C23C 14/34
B01J 35/02 J
, B01J 21/06 M
, B01J 37/02 301 P
, C23C 14/34 E
