特許
J-GLOBAL ID：200903053838745921

スクライブ装置

発明者：
松本 真人

松本 真人 について


出願人/特許権者：
三星ダイヤモンド工業株式会社

三星ダイヤモンド工業株式会社 について


代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  森下 夏樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-202578
公開番号（公開出願番号）：特開2004-042423
出願日： 2002年07月11日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】大板の脆性材料基板をスクライブするのに好適なスクライブ装置を提供する。【解決手段】レーザ発振器3、光学系ユニット4、ベンドミラー5、冷却ジェット6、トリガ機構7の脆性材料基板にスクライブラインを形成するのに必要な全構成を、支持台2に一体的に取り付けた。これにより、スクライブ装置1では、スクライブラインの形成に必要な各構成を脆性材料基板Sの表面に対して移動させても、加熱領域及び冷却領域の形成位置に変動が生じることが防止される。したがって、安定したスクライブラインの形成を維持することができ、スクライブラインを形成した後に実施されるブレイク工程を経て分断される脆性材料基板Sの安定した分断面の品質を確保することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
脆性材料基板上に加熱領域を形成する加熱手段と、該加熱領域に近接した位置に冷却領域を形成する冷却手段と、スクライブラインの開始点となる切れ目を形成する切れ目形成手段とを備え、該加熱領域と該冷却領域との間で発生する応力勾配により該切れ目から進展させた垂直クラックの連続であるスクライブラインを形成するスクライブ装置であって、 該加熱手段、該冷却手段及び該切れ目形成手段を一体的に固定する固定手段を備え、該固定手段に固定された該加熱手段、該冷却手段及び該切れ目形成手段と該脆性材料基板とが互いに所定の相対速度にて相対的に一定の位置関係を維持しながら移動することを特徴とするスクライブ装置。
IPC (6件)：
B28D5/00 ,  B23K26/00 ,  B23K26/08 ,  C03B33/09 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333
FI (6件)：
B28D5/00 Z ,  B23K26/00 D ,  B23K26/08 A ,  C03B33/09 ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1333 500
Fターム (24件)：
2H088FA07 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JC01 ,  3C069AA03 ,  3C069BA04 ,  3C069BA08 ,  3C069BB01 ,  3C069BB03 ,  3C069BB04 ,  3C069BC01 ,  3C069BC04 ,  3C069CA06 ,  3C069CA11 ,  3C069EA01 ,  4E068AD00 ,  4E068CA05 ,  4E068CE01 ,  4E068DB13 ,  4G015FA03 ,  4G015FA06 ,  4G015FB01
引用特許：
審査官引用 (3件)

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