電子顕微鏡の調整方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：井島藤治 , 鮫島信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-250653
公開番号（公開出願番号）：特開2004-095191
出願日： 2002年08月29日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】煩わしいつまみの操作による調整作業を減少させ、コンピュータによる操作を増やすことによって電子顕微鏡の操作性を向上させ、また初心者の電子顕微鏡の習熟度を早めることができる電子顕微鏡の調整方法を実現する。【解決手段】倍率可変のためのボタンC1の位置に、ポインター52を移動させ、マウスの左ボタンをクリックすると、コンピュータ44は、倍率可変モードに入ったことを認識し、メモリー45の像倍率データが記憶されている記憶領域45aにアクセスできる状態とされる。ここで、オペレータがマウス47のホイール57を回転させると、所定の倍率となるようにレンズ系のレンズ強度が設定される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

電子ビームを発生し加速する電子銃と、電子銃からの電子ビームを試料上に集束するためのレンズ系と、試料を透過した電子を結像する結像レンズ系とを備えており、各レンズ系に含まれるレンズの強度をコンピュータによって制御し得る電子顕微鏡において、コンピュータのディスプレイ上に調整すべき項目を表示させ、特定の調整項目の表示部分にディスプレイに表示されたポインターを移動させ、マウスをクリックすることにより調整項目の選択を行ない、その後マウスのホイールを回転させることによって、該調整項目についての調整を行なうようにした電子顕微鏡の調整方法。

IPC (1件)：

H01J37/22

FI (5件)：

H01J37/22 502D , H01J37/22 501H , H01J37/22 501Z , H01J37/22 502C , H01J37/22 502Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

荷電粒子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-107050 出願人：株式会社日立製作所
顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-286376 出願人：株式会社島津製作所
特開昭61-104549

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