特許

J-GLOBAL ID：200903053881215499

透明基板の検査方法および透明基板の検査装置

発明者： 小林 了
出願人/特許権者： 株式会社日本マクシス
代理人 (1件)： 油井 透 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-025156
公開番号（公開出願番号）：特開2000-221008
出願日： 1999年02月02日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 偏光観察法を用いてコンベックス加工による断面の適正化を迅速かつ全数検査できるようにする。【解決手段】 まず、透明基板の標準サンプルを用いて、標準サンプルの同一断面での中心部が最大の輝度となるように、アナライザ22またはポラライザ21を回転して、そのときの輝度を求める。光路に1/2波長板を22.5°の角度で挿入して光の位相差を45°ずらし、そのときの前記中心部の輝度を求める。中心部の輝度の最大値と位相差45°の輝度値の2点を通るsin波形を求める。このsin波形を、位相差を可視化して得られる標準サンプルの同一断面における基準輝度分布波形とみなす。次に検査しようとする水晶ブランク1を用いて、標準サンプルの同一断面での輝度を求め、それから輝度分布波形を検出する。この検出輝度分布波形と基準輝度分布波形とを比較して、透明基板の同一断面での厚さを相対的に検査する。

請求項（抜粋）：

コンベックス加工した複屈折媒質からなる透明基板に光源からの光をポラライザにより偏光にして与え、前記透明基板を通過した光からアナライザにより前記偏光に対し所定の角度をなす偏光状態の光を通過させて、偏光干渉により前記透明基板の厚さの違いによる位相差を可視化して、前記透明基板の加工仕上りの検査を行うようにした透明基板の検査方法において、前記位相差を可視化して得られる前記透明基板の同一断面での輝度分布と予め求めた基準輝度分布とを比較して、前記透明基板の同一断面での厚さを検査するようにした透明基板の検査方法。

IPC (3件)：

G01B 11/02 ,  G01N 21/23 ,  G02B 21/00

FI (3件)：

G01B 11/02 G ,  G01N 21/23 ,  G02B 21/00

Fターム (52件)：

2F065AA30 ,  2F065AA52 ,  2F065BB22 ,  2F065CC00 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF51 ,  2F065FF61 ,  2F065GG07 ,  2F065GG22 ,  2F065HH09 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL35 ,  2F065LL49 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ41 ,  2F065SS04 ,  2F065TT03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB15 ,  2G059CC20 ,  2G059DD20 ,  2G059EE05 ,  2G059EE09 ,  2G059FF06 ,  2G059GG02 ,  2G059GG04 ,  2G059GG10 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ21 ,  2G059JJ26 ,  2G059KK04 ,  2G059MM02 ,  2G059MM05 ,  2G059MM09 ,  2G059PP04 ,  2H052AA04 ,  2H052AC05 ,  2H052AF03 ,  2H052AF14 ,  2H052AF25

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 液晶素子のセル厚むら検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-009022   出願人：キヤノン株式会社
• 光学式板厚測定方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-129104   出願人：東洋通信機株式会社
• 透明基板の傷検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-102559   出願人：ジーフォース株式会社