セラミックス基材

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：中野稔 , 山口幹雄 , 二島英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-275417
公開番号（公開出願番号）：特開2007-063124
出願日： 2006年10月06日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：

【課題】焼結後のセラミックス基材内の焼結助剤分布を均一化することによって、以上述べた焼結後の熱処理による増加変形量を低減すること、即ちセラミックス基材の高温での熱処理時に生ずる変形量を小さくする。【解決手段】焼結助剤を含むセラミックス基材であって、蛍光X線によるその一方の主面側および他方の主面側の主成分元素の検出強度に対する焼結助剤成分元素の検出強度の比を、それぞれaおよびbとし、a>bとした場合に、a/b≦1.3であるセラミックス基材を提供する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

焼結助剤を含むセラミックス基材であって、蛍光X線によるその一方の主面側および他方の主面側の主成分元素の検出強度に対する焼結助剤成分元素の検出強度の比を、それぞれaおよびbとし、a>bとした場合に、a/b≦1.3であることを特徴とするセラミックス基材。

IPC (4件)：

C04B 35/581 , C04B 35/584 , C04B 35/111 , G01N 23/223

FI (4件)：

C04B35/58 104B , C04B35/58 102C , C04B35/10 D , G01N23/223

Fターム (44件)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001CA01 , 2G001FA07 , 2G001GA01 , 2G001KA01 , 2G001LA06 , 2G001MA05 , 2G001NA30 , 4G001BA07 , 4G001BA08 , 4G001BA09 , 4G001BA32 , 4G001BA36 , 4G001BB07 , 4G001BB08 , 4G001BB09 , 4G001BB32 , 4G001BB36 , 4G001BC13 , 4G001BC17 , 4G001BC22 , 4G001BC34 , 4G001BC35 , 4G001BC52 , 4G001BC54 , 4G001BC62 , 4G001BD23 , 4G001BE32 , 4G001BE39 , 4G030AA07 , 4G030AA08 , 4G030AA36 , 4G030AA37 , 4G030BA09 , 4G030BA12 , 4G030CA08 , 4G030GA04 , 4G030GA11 , 4G030GA14 , 4G030GA20 , 4G030GA24 , 4G030GA27 , 4G030GA31

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭63-190761号公報
特開昭61-010071号公報
特開昭60-071575号公報

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審査官引用 (6件)

窒化アルミニウム基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-183295 出願人：株式会社村田製作所
特開昭60-077176
特開昭60-077176

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