特許

J-GLOBAL ID：200903053961314498

シャワーヘッド構造、成膜装置、成膜方法及びクリーニング方法

発明者： 桑田 知尚 ,  米田 昌剛 ,  西森 崇
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-272695
公開番号（公開出願番号）：特開2002-155364
出願日： 2001年09月07日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：

【要約】【課題】 成膜処理の再現性を向上させて高く維持することができると共に、成膜処理時に付着した反応副生成物の除去も短時間で容易に実施できるシャワーヘッド構造を提供する。【解決手段】 本発明は、被処理体Wに対して成膜処理を施すための処理容器22の天井部に設けられて所定ガスを供給するシャワーヘッド構造80であり、複数のガス噴射孔94が開口された底部を有する有底筒体状に形成され、該カップ形状の開口側に上記天井部への取り付け用接合フランジ部が一体的に形成されたヘッド本体82と、上記ヘッド本体の底部に設けられて、該ヘッド本体のガス噴射部を所望の温度に調整するヘッド加熱部100とを備え、低温下による再現性を向上させた成膜処理と高温下による反応副生成物の除去を行うシャワーヘッド構造である。

請求項（抜粋）：

被処理体に対して成膜処理を施すための処理容器の天井部に設けられて前記処理容器内へ所定のガスを供給するシャワーヘッド構造において、底部に複数のガス噴射孔を有して有底筒体状に形成されたヘッド本体と、前記ヘッド本体を前記処理容器の天井部へ支持するための接合フランジ部と、前記ヘッド本体の底部に設けられて前記ヘッド本体の温度調整を行なうために温度制御可能になされたヘッド加熱手段とを備えたことを特徴とするシャワーヘッド構造。

IPC (3件)：

C23C 16/44 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

C23C 16/44 J ,  H01L 21/285 C ,  H01L 21/302 N

Fターム (26件)：

4K030AA04 ,  4K030BA20 ,  4K030CA04 ,  4K030DA06 ,  4K030EA04 ,  4K030FA10 ,  4K030JA10 ,  4K030KA45 ,  4K030LA15 ,  4M104BB18 ,  4M104DD44 ,  4M104DD45 ,  4M104HH20 ,  5F004AA15 ,  5F004BB32 ,  5F004BC03 ,  5F004BD04 ,  5F004DA00 ,  5F004DA04 ,  5F004DA29 ,  5F004DB08 ,  5F004DB09 ,  5F004DB10 ,  5F004DB12 ,  5F004DB13 ,  5F004DB15

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特許第6453992号
  
• 処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-296148   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 処理装置及びそのクリーニング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-256505   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-221101   出願人：株式会社荏原製作所