特許
J-GLOBAL ID:200903054089363711
ブラックマトリックス用感光性樹脂組成物
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
古谷 聡
, 溝部 孝彦
, 西山 清春
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-319469
公開番号(公開出願番号):特開2005-222028
出願日: 2004年11月02日
公開日(公表日): 2005年08月18日
要約:
【課題】 露光時の感度、現像後のパターンのエッジ形状、解像度が共に良好で、かつパターンにアンダーカットを生じることがなく、しかも基板から剥れにくいブラックマトリックス用感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】 本発明のブラックマトリックス用感光性樹脂組成物は、(A)下記一般式(a-1)で表される官能基を含む化合物からなるアルカリ可溶性樹脂、(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、(C)下記一般式(c-1)で表される化合物を必須成分とする光重合開始剤、(D)溶剤及び(E)黒色顔料を含む。【化1】(式中、それぞれのRは独立して水素原子、炭素数1〜5の直鎖もしくは分岐アルキル基、フェニル基またはハロゲン原子を示す。)【化2】(式中、Z11はRa、Rb-S、Rc-Oを示し、ただしRa、Rb、Rcは何れも水素原子、アルキル基、又はアリール基を示し、Z2は水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、ハロゲン原子を示す。)【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A) 下記一般式(a-1)で表される官能基を含む化合物からなるアルカリ可溶性樹脂、
IPC (6件):
G03F7/027
, C08F2/50
, C08F290/14
, G02B5/20
, G03F7/004
, G03F7/028
FI (6件):
G03F7/027 515
, C08F2/50
, C08F290/14
, G02B5/20 101
, G03F7/004 505
, G03F7/028
Fターム (87件):
2H025AB13
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC32
, 2H025BC42
, 2H025BC74
, 2H025BC85
, 2H025CA01
, 2H025CB52
, 2H025CC03
, 2H025CC12
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H048BA02
, 2H048BA11
, 2H048BB01
, 2H048BB24
, 2H048BB42
, 4J011QA23
, 4J011QB14
, 4J011SA21
, 4J011SA26
, 4J011SA29
, 4J011TA03
, 4J011TA07
, 4J011UA01
, 4J011VA01
, 4J011WA10
, 4J127AA03
, 4J127BA151
, 4J127BA152
, 4J127BB041
, 4J127BB042
, 4J127BB081
, 4J127BB082
, 4J127BB221
, 4J127BB222
, 4J127BB281
, 4J127BB282
, 4J127BB301
, 4J127BB302
, 4J127BC031
, 4J127BC032
, 4J127BC151
, 4J127BC152
, 4J127BC162
, 4J127BD201
, 4J127BD202
, 4J127BE34Y
, 4J127BE341
, 4J127BE342
, 4J127BE41Z
, 4J127BE411
, 4J127BE412
, 4J127BF30Y
, 4J127BF301
, 4J127BF45Z
, 4J127BF451
, 4J127BF452
, 4J127BG04Y
, 4J127BG041
, 4J127BG042
, 4J127BG05Y
, 4J127BG05Z
, 4J127BG051
, 4J127BG052
, 4J127BG12X
, 4J127BG121
, 4J127BG122
, 4J127BG16Z
, 4J127BG161
, 4J127BG162
, 4J127BG17Y
, 4J127BG17Z
, 4J127BG171
, 4J127BG172
, 4J127CB153
, 4J127CB371
, 4J127CB372
, 4J127CC092
, 4J127CC111
, 4J127CC112
, 4J127CC393
, 4J127EA13
, 4J127FA17
, 4J127FA30
引用特許:
出願人引用 (7件)
-
特開昭 59-204009号公報
-
特開昭 63-40101 号公報
-
特開平 2-287303 号公報
全件表示
審査官引用 (4件)