感光性板状部材吸着機構及び画像記録装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-070668
公開番号（公開出願番号）：特開2005-258152
出願日： 2004年03月12日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：

【課題】簡単な構成で、感光性板状部材に反りがある場合でも、ステージに密着させて確実に吸着できる感光性板状部材吸着機構と、この感光性板状部材吸着機構を備えた画像記録装置を得る。【解決手段】第1コイルバネ120によって吸盤118のそれぞれが基板150に向かって付勢され、基板150に反りがあっても、吸盤118の位置を基板150の形状に倣わせて確実に吸着できる。プランジャ124内には、第1コイルバネよりも強い弾性力のの第2コイルバネ132が配置されており、反りのある基板150をステージ152の載置面152Pに押圧して反りを解消できる。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

載置面上に感光性板状部材を載置可能なステージと、載置面に載置された感光性板状部材を挟んで載置面と反対側から進退可能とされ、感光性板状部材を吸着可能な複数の吸着パッドと、前記吸着パッドのそれぞれを感光性板状部材に向かって付勢する付勢部材と、前記載置面上の感光性板状部材に対し前記付勢部材の付勢力よりも強い押圧力で吸着パッドを押圧可能な押圧部材と、を有することを特徴とする感光性板状部材吸着機構。

IPC (3件)：

G03F7/20 , B65H5/08 , B65H5/22

FI (3件)：

G03F7/20 501 , B65H5/08 C , B65H5/22 B

Fターム (15件)：

2H097AA03 , 2H097AB07 , 2H097DB11 , 2H097GB04 , 2H097LA01 , 3F049FC12 , 3F049FC14 , 3F049FC22 , 3F049LA01 , 3F049LB12 , 3F101CA05 , 3F101CB02 , 3F101CB08 , 3F101LA16 , 3F101LB12

引用特許：

出願人引用 (2件)

基板吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-006408 出願人：株式会社ニコン
プリント基板支持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-221723 出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (7件)

自動製版装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-378091 出願人：株式会社大床製作所
プリント基板支持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-221723 出願人：松下電器産業株式会社
帯状部材の吸着具および吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-078533 出願人：株式会社ブリヂストン

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