レンズの評価方法、レンズの評価装置、及びレンズの調整装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-138584
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329648
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】簡単かつ短時間にレンズの収差等を評価し調整できる方法及び装置を提供する。【解決手段】レンズの評価方法は、(a) レンズから出射された光を回折し、異なる次数の2つの回折光(例えば、0次回折光31と+1次回折光32)を干渉させてシェアリング干渉像50を得る工程と、(b)回折光の位相を変化させる工程と、(c)シェアリング干渉像において、2つの回折光の光軸を結ぶ線分の中点を通る測線上の複数の測点で光強度変化の位相を求める工程と、(d)位相をもとにレンズの特性(デフォーカス量、コマ収差、非点収差、球面収差、高次収差)を求める工程とを有する。

請求項（抜粋）：

(a) レンズから出射された光を回折し、異なる次数の2つの回折光を干渉させてシェアリング干渉像を得る工程と、(b) 上記回折光の位相を変化させる工程と、(c) 上記シェアリング干渉像において、上記2つの回折光の光軸を結ぶ線分の中点を通る測線上の複数の測点で光強度変化の位相を求める工程と、(d) 上記位相をもとに上記レンズの特性を求める工程とを有することを特徴とするレンズの評価方法。

IPC (2件)：

G01M 11/02 , G11B 7/22

FI (2件)：

G01M 11/02 B , G11B 7/22

Fターム (8件)：

2G086HH06 , 2G086HH07 , 5D119AA38 , 5D119DA20 , 5D119JA02 , 5D119JA43 , 5D119NA05 , 5D119PA05

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開昭61-286710
収差測定機
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-353755 出願人：株式会社ニコン
特開昭63-298106

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