特許
J-GLOBAL ID：200903054368575982
SF6ガス回収装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-330813
公開番号（公開出願番号）：特開2000-334247
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：
【要約】【課題】 被容器回収1内のSF6ガスを大気中に漏出することなくほぼ全量回収する。【解決手段】 被回収容器1内のSF6ガスを加圧部2や、PSA式のガス分離部3によりガス圧を一定にし、加圧ポンプ30により高圧にした後、冷却して液化回収してSF6ガスを回収する。
請求項（抜粋）：
ガス供給部とガス分離部で構成されたSF6ガス回収装置において、被回収容器にガス供給部で調圧した高圧ガスを供給し、SF6ガスと混合した被回収ガスをガス取出口より取り出し、ガス分離部にてSF6を多く含むガスとSF6をほとんど含まないガスに分離し、SF6をほとんど含まないガスを大気中に排出し、SF6を含むガスを回収するSF6ガス回収装置。
Fターム (9件)：
4D012CA20
, 4D012CB16
, 4D012CD07
, 4D012CE01
, 4D012CF03
, 4D012CG01
, 4D012CG06
, 4D012CJ02
, 4D012CJ06
