特許

J-GLOBAL ID：200903054498154571

磁気抵抗効果センサ積層体および磁気抵抗効果再生ヘッド、ならびにそれらの製造方法

発明者： ベルナルド ディエニー ,  成宗 洪 ,  克▲強▼ 朱 ,  民 李 ,  ▲煥▼中 廖
出願人/特許権者： ヘッドウェイテクノロジーズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 三反崎 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-270687
公開番号（公開出願番号）：特開2003-152243
出願日： 2002年09月17日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
要約：

【要約】【課題】 磁気抵抗効果が向上した新規なCPP-MR型磁気再生センサを提供する。【解決手段】 酸化鉄(Fe3 O4 )、酸化クロム(CrO2 )、ニッケル鉄合金(NiFe)やコバルト鉄合金(CoFe)の表面酸化物、スピネル構造を有するコバルト鉄ニッケル合金(CoFeNi)、フェリ磁性ガーネット、亜マンガン酸塩や他の強磁性ペロブスカイト、ならびに強磁性窒化物を含む群のうちのいずれかを含むMO(magnetic nano-oxide )層4,40を積層構造中に備えるように、CPP-MR型磁気再生センサを構成する。MO層4,40の存在に基づいて、伝導電子が抵抗を受ける区間の長さ(抵抗路長)が長くなることによりセンサ抵抗が高まると共に、スピンアップ電子/スピンダウン電子間の抵抗差が大きくなる。巨大磁気抵抗変化率(ΔR/R)が確保されるため、磁気抵抗効果が向上する。

請求項（抜粋）：

膜面に直交する方向に電流が流れる膜面直交電流型の磁気抵抗効果センサ積層体であって、基体上に配設された第1の非磁性金属スペーサ層と、第1の磁性ナノ酸化物層を挟んで2つの強磁性層が積層された3層構成の第1の強磁性層と、第2の非磁性金属スペーサ層と、第2の磁性ナノ酸化物層を挟んで2つの強磁性層が積層された3層構成の第2の強磁性層と、第3の非磁性金属スペーサ層とがこの順に積層された積層構造を含むことを特徴とする磁気抵抗効果センサ積層体。

IPC (8件)：

H01L 43/08 ,  G01R 33/09 ,  G11B 5/39 ,  H01F 10/16 ,  H01F 10/32 ,  H01F 41/14 ,  H01L 43/10 ,  H01L 43/12

FI (8件)：

H01L 43/08 Z ,  G11B 5/39 ,  H01F 10/16 ,  H01F 10/32 ,  H01F 41/14 ,  H01L 43/10 ,  H01L 43/12 ,  G01R 33/06 R

Fターム (13件)：

2G017AA10 ,  2G017AD54 ,  5D034BA03 ,  5D034BA09 ,  5D034BA11 ,  5D034CA08 ,  5D034DA07 ,  5E049AA01 ,  5E049AA04 ,  5E049AA07 ,  5E049BA12 ,  5E049CB01 ,  5E049EB00

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 米国特許第5668688号明細書
  
• 米国特許第6198609号明細書
  
• 米国特許第5650958号明細書
  
• 米国特許第5898548号明細書
  
• 米国特許第6111784号明細書
  
• 米国特許第6171693号明細書
  

審査官引用 (4件)

• 磁気抵抗効果素子とその製造方法、磁気抵抗効果型ヘッド、磁気記録装置、磁気抵抗効果メモリ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-057908   出願人：松下電器産業株式会社
• 磁気抵抗効果素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-061873   出願人：ソニー株式会社
• CPP構造スピンバルブヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-349106   出願人：富士通株式会社
• 酸化物磁性層と金属磁性膜を積層した磁気抵抗効果素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-216125   出願人：株式会社日立製作所