特許
J-GLOBAL ID：200903054575993352
回路基板検査装置及び検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 今城 俊夫
, 西島 孝喜
, 合田 潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-118215
公開番号（公開出願番号）：特開2005-300386
出願日： 2004年04月13日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：
【課題】 複数回路の回路基板を検査するため直流電流と交流電流を重畳した試験電流を流してジュール熱による被検査回路の加熱及び冷却の温度特性に起因したクラック又は狭窄部から発生する交流電流の二次高調波を観測して潜在的な欠陥を検出する装置及び方法において、検査に要する時間を短くして高速に回路基板を検査できる回路基板検査装置及び方法を提供する。【解決手段】 本発明の回路基板検査装置は、第1直流電源(21a)、第2直流電源(21b)及び交流電源(22)と、被検査回路の両端に接続するためにそれぞれ対をなす第1プローブ組(23a、24a)及び第2プローブ組(23b、24b)と、交流電源を第1プローブ組又は第2プローブ組に切替えて接続するためのスイッチ(40)とを含み、スイッチにより、複数の被検査回路間で予熱及び検査を切替え、検査前に予熱を並列に行うことで全体の検査時間の短縮を図る。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
複数の回路を含む回路基板を検査するため、直流電流と交流電流とを重畳した試験電流を回路基板の被検査回路に流して、試験電流のジュール熱による被検査回路の加熱及び冷却の温度特性により被検査回路のクラック又は狭窄部から発生する交流電流の二次高調波を観測して被検査回路の潜在的な欠陥を検出する装置であって、
直流電流を発生するための第1及び第2直流電源と、
所定の周波数の交流電流を発生するための交流電源と、
被検査回路の両端に接続するためにそれぞれ対をなす第1及び第2プローブ組と、
前記交流電源を前記第1プローブ組又は前記第2プローブ組に切替えて接続するためのスイッチと、
前記第1又は第2プローブ組から取り出された電流に含まれる前記交流電源の前記周波数の二倍の周波数を持つ二次高調波を観測して被検査回路中の潜在的な欠陥を検出する検知回路と、を含み、
前記スイッチが、検査前に予熱するために前記第1又は第2直流電源のいずれか一方からの直流電流を前記第1又は第2プローブ組を介して被検査回路に流し、検査時に前記第1又は第2の直流電源のいずれか一方からの直流電流と前記交流電源からの交流電流を重畳した試験電流を生成して前記第1又は第2プローブ組を介して被検査回路へ流し、前記第1プローブ組に接続された被検査回路及び前記第2プローブ組に接続された被検査回路との間で予熱及び検査を切替えることができる回路基板検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
2G014AA02
, 2G014AA03
, 2G014AC09
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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