X線検査装置およびX線検査方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：菊池治 , 大胡典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-053661
公開番号（公開出願番号）：特開2007-232530
出願日： 2006年02月28日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：

【課題】X線によって高い空間分解能で被検体の表面形状を検査できるようにする。【解決手段】X線検査装置に、真空容器5に収められたリング状の電子エミッタ6およびリング状のX線ターゲット7を備える。リング状のX線ターゲット7から放出されたX線は、すべて所定のX線照射領域11に向かう。このX線は、被検体に照射され、被検体から放たれる散乱または蛍光X線12は、反射X線コリメータ2を通って、X線二次検出器3によって検出される。リング状のX線ターゲット7から放出されるX線9は、すべて所定のX線照射領域11に向かうため、X線ターゲット7の熱衝撃を大きくすることなく、X線強度を増加させ、検査精度を高めることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

真空容器と、前記真空容器に収められた、電子を放出する電子エミッタと、前記電子エミッタから放出されて所定の電圧で加速された電子が所定の電子衝突領域に衝突すると所定のX線照射領域に向かうX線を放出する、前記真空容器に収められたX線ターゲットと、前記X線ターゲットから放出されたX線が前記X線照射領域に配置された被検体に照射されたときに前記被検体から放たれるX線が通過する反射X線コリメータと、前記反射X線コリメータを通過したX線を検出するX線二次検出器と、を有することを特徴とするX線検査装置。

IPC (3件)：

G01N 23/203 , G01N 23/223 , G01B 15/08

FI (3件)：

G01N23/203 , G01N23/223 , G01B15/08

Fターム (20件)：

2F067AA45 , 2F067EE04 , 2F067HH04 , 2F067HH18 , 2F067JJ03 , 2F067KK01 , 2F067KK07 , 2F067LL00 , 2F067RR35 , 2F067UU02 , 2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001BA15 , 2G001CA01 , 2G001DA09 , 2G001HA13 , 2G001MA05 , 2G001SA01 , 2G001SA02 , 2G001SA04

引用特許：

出願人引用 (2件)

X線撮像分析方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-229180 出願人：科学技術庁金属材料技術研究所長
X線撮像装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-138834 出願人：独立行政法人物質・材料研究機構

審査官引用 (5件)

蛍光X線分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-177046 出願人：辻幸一, 株式会社エックスレイプレシジョン
X線撮像分析方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-229180 出願人：科学技術庁金属材料技術研究所長
X線撮像装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-138834 出願人：独立行政法人物質・材料研究機構

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