X線撮像装置および方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-138834
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329622
出願日： 2002年05月14日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：

【要約】【課題】蛍光X線動画像として、物質の表面における元素の分布または組成の経時変化を、表示または記録することを可能とするX線撮像装置および方法を提供する。【解決手段】 X線、粒子線、またはイオンビームのいずれかのビームを物質(2)の表面に照射するためのビーム照射手段(1)と、X線領域の波長に対して感度を有する撮像手段(4)と、撮像手段に入射するX線の角度発散を制御するための角度発散制限手段(5)と、撮像手段(4)で撮像されるX線画像を表示するためのX線画像表示手段(6)と、からなるX線撮像装置であって、前記撮像手段において前記ビームが物質に照射されることで発生する蛍光X線および散乱X線(3)を撮像し、撮像された画像をX線画像表示手段(6)に動画像として表示する。

請求項（抜粋）：

X線、粒子線、またはイオンビームのいずれかのビームを物質の表面に照射するためのビーム照射手段と、X線領域の波長に対して感度を有する撮像手段と、撮像手段に入射するX線の角度発散を制御するための角度発散制限手段と、撮像手段で撮像されるX線画像を表示するためのX線画像表示手段と、からなるX線撮像装置であって、前記撮像手段において前記ビームが物質に照射されることで発生する蛍光X線および散乱X線を撮像し、撮像された画像をX線画像表示手段に動画像として表示することを特徴とするX線撮像装置。

IPC (5件)：

G01N 23/223 , G01N 23/20 , G01T 1/00 , G01T 7/00 , G21K 1/02

FI (5件)：

G01N 23/223 , G01N 23/20 , G01T 1/00 B , G01T 7/00 B , G21K 1/02 G

Fターム (26件)：

2G001AA01 , 2G001AA03 , 2G001AA05 , 2G001AA09 , 2G001AA10 , 2G001BA04 , 2G001BA14 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001DA02 , 2G001DA09 , 2G001FA06 , 2G001GA03 , 2G001GA07 , 2G001HA12 , 2G001HA13 , 2G001KA20 , 2G001NA13 , 2G001NA17 , 2G001SA02 , 2G001SA30 , 2G088EE30 , 2G088FF02 , 2G088FF03 , 2G088JJ05 , 2G088JJ13

引用特許：

審査官引用 (1件)

X線撮像分析方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-229180 出願人：科学技術庁金属材料技術研究所長

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