特許
J-GLOBAL ID：200903054625230606

真空比例開閉弁

発明者：
籠橋 宏

籠橋 宏 について

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池尾 利洋

池尾 利洋 について

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井藤 丈裕

井藤 丈裕 について

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河野 哲▲じ▼郎

河野 哲▲じ▼郎 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-360104
公開番号（公開出願番号）：特開2001-173838
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 加熱対策に優れた真空比例開閉弁を提供すること。【解決手段】 本発明の真空比例開閉弁1は、弁体32に配置され、その弁体32を加熱する弁体用ヒータ44と、バルブ本体2に巻かれ、そのバルブ本体2を加熱するバルブ本体用ヒータ41とを有し、更にベローズアダプタ35のアクチュエータ3側に配置され、そのベローズアダプタ35に対して直接的又は間接的に接して加熱するベローズアダプタ用ヒータ45を有する。
請求項（抜粋）：
入力ポートと出力ポートとの間に弁座を形成してなる箱形のバルブ本体にアクチュエータが一体に組み付けられ、そのアクチュエータからバルブ本体内に挿入された出力軸の先端に弁体を固定して弁の開閉を行うものであって、出力軸を覆ったベローズが、バルブ本体及びアクチュエータ本体間に固定されたベローズアダプタと弁体とに接続されて流体漏れを防止する真空比例開閉弁において、前記弁体に配置され、その弁体を加熱する弁体用ヒータと、前記バルブ本体に巻かれ、そのバルブ本体を加熱するバルブ本体用ヒータとを有し、更に前記ベローズアダプタのアクチュエータ側に配置され、そのベローズアダプタに対して直接的又は間接的に接して加熱するベローズアダプタ用ヒータを有することを特徴とする真空比例開閉弁。
IPC (3件)：
F16K 49/00 ,  F16K 51/02 ,  F16K 41/10
FI (3件)：
F16K 49/00 B ,  F16K 51/02 A ,  F16K 41/10
Fターム (2件)：
3H066AA01 ,  3H066BA36
引用特許：
審査官引用 (12件)
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