特許
J-GLOBAL ID：200903054641185700
半導体基板の平坦化装置および平坦化方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-090114
公開番号（公開出願番号）：特開2007-260850
出願日： 2006年03月29日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：
【課題】 半導体基板裏面を高スル-プットで研削、研磨加工し、基板を薄肉化・平坦化することができるフットプリントがコンパクトな基板平坦化装置の提供。【解決手段】 基板収納ステ-ジ13を室外に備え、室内にはベ-ス11上に多関節型搬送ロボット14、位置合わせ用仮置台15、移動型搬送パッド16、基板ロ-ディング/アンロ-ディングステ-ジS1、粗研削ステ-ジS2、および仕上研削ステ-ジS3の3つのステ-ジを構成する部材の基板ホルダ-30a,30b,30cを第1インデックス型回転テ-ブル2に同心円上に配置した研削加工ステ-ジ20、基板ロ-ディング/アンロ-ディング/仕上研磨ステ-ジps1を構成する基板ホルダ-テ-ブル70aと、粗研磨ステ-ジps2を構成する基板ホルダ-テ-ブル70bを第2インデックス型回転テ-ブル71に同心円上に配置した研磨加工ステ-ジ70を設けた基板平坦化装置10。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板収納ステ-ジを室外に、多関節型搬送ロボット、位置合わせ用仮置台、研削加工ステ-ジ、移動型搬送パッド、研磨加工ステ-ジ、および洗浄ステ-ジを室内に備える平坦化装置において、
該平坦化装置の正面側から背面側に向かって、室外の右側に基板収納ステ-ジを設け、
室内においては、室内の前列目に前記基板収納ステ-ジ近傍位置に多関節型搬送ロボットを、その多関節型搬送ロボットの後列の右側に、位置合わせ用仮置台および後列中央側に移動型搬送パッドを設置し、それらの最後列に、時計廻り方向に基板ロ-ディング/アンロ-ディングステ-ジ、粗研削ステ-ジ、および仕上研削ステ-ジの3つのステ-ジを構成する基板ホルダ-テ-ブルを第1インデックス型回転テ-ブルに同心円上に配置した研削加工ステ-ジを設け、
前記基板ロ-ディング/アンロ-ディングステ-ジを構成する基板ホルダ-テ-ブル上方に、基板ホルダ-テ-ブル上面を洗浄する回転式チャッククリ-ナおよび研削加工された基板面を洗浄する回転式洗浄ブラシ一対を備える洗浄機器を基板ホルダ-テ-ブル上面に対し垂直方向および平行方向に移動可能に設け、
前記粗研削ステ-ジを構成する基板ホルダ-テ-ブル上方に粗研削カップホイ-ル型ダイヤモンド砥石を備えるスピンドルを基板ホルダ-テ-ブル上面に対し昇降可能に設け、
前記仕上研削ステ-ジを構成する基板ホルダ-テ-ブル上方に、仕上研削カップホイ-ル型ダイヤモンド砥石を備えるスピンドルを基板ホルダ-テ-ブル上面に対し昇降可能に設け、
前記基板ホルダ-テ-ブルと多関節型搬送ロボットと移動型搬送パッドと回転式チャッククリ-ナおよび回転式洗浄ブラシを備える洗浄機器とで基板ロ-ディング/アンロ-ディングステ-ジを構成し、基板ホルダ-テ-ブルと粗研削カップホイ-ル型ダイヤモンド砥石で粗研削ステ-ジを構成し、基板ホルダ-テ-ブルと仕上研削カップホイ-ル型ダイヤモンド砥石で仕上研削ステ-ジを構成させ、
前記多関節型搬送ロボットの左側に、基板ロ-ディング/アンロ-ディング/仕上研磨ステ-ジを構成する基板ホルダ-テ-ブルと、粗研磨ステ-ジを構成する基板ホルダ-テ-ブルを別の1台の第2インデックス型回転テ-ブルに同心円上に配置した研磨加工ステ-ジを設け、
前記仕上研磨ステ-ジを構成する基板ホルダ-テ-ブル上方に、洗浄液供給機構および研磨パッドを回転可能に軸承するスピンドルを基板ホルダ-テ-ブル上面に対し昇降可能および平行に揺動可能に設け、この基板ホルダ-テ-ブルと研磨パッドと洗浄液供給機構と前記移動型搬送パッドと多関節型搬送ロボットまたは別の搬送パッドまたは多関節型搬送ロボットとで基板ロ-ディング/アンロ-ディング/仕上研磨ステ-ジを構成し、
前記粗研磨ステ-ジを構成する基板ホルダ-テ-ブル上方に、研磨剤スラリ-液供給機構および研磨パッドを回転可能に軸承するスピンドルを基板ホルダ-テ-ブル上面に対し昇降可能および平行に揺動可能に設け、この基板ホルダ-テ-ブルと研磨パッドと研磨剤スラリ-液供給機構とで基板粗研磨ステ-ジを構成する、
ことを特徴とする、半導体基板の平坦化装置。
IPC (3件)：
B24B 7/00
, H01L 21/304
, B24B 37/04
B24B7/00 A
, H01L21/304 631
, B24B37/04 Z
3C043BA04
, 3C043BA09
, 3C043CC12
, 3C043DD14
, 3C058AA02
, 3C058AA07
, 3C058AB03
, 3C058BA07
, 3C058BC01
, 3C058CB05
, 3C058DA17
