特許
J-GLOBAL ID：200903054663806597
ファイバ/導波路-鏡-レンズアラインメント装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-127703
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344648
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】 光学装置同士の間の光エネルギーを結合するためのモノリシック集積アラインメント装置と、III-V半導体の異方性エッチ特性を使用したその製造方法とを提供する。【解決手段】 リン化インジウム(InP)等のIII-V半導体基板36、ファイバ溝38、レンズ39、及び反射鏡40を含む光学アラインメント装置であり、ファイバ溝38は精密な光ファイバ位置決めのための自然のチャンネルとなり、そこで光エネルギー42は光ファイバ44から放射され、反射鏡40で方向変換され、レンズ39で集束されて光学検出器装置46で集められる。
請求項（抜粋）：
第一の結晶面と、第二の結晶面と、第三の結晶面と、前記第一の結晶面と交差して基板ウェーハの側面上に前記第三の結晶面に沿ってエッチされた溝とを有する基板ウェーハと;該基板ウェーハの前記第一の結晶面に沿ってエッチされた鏡と;前記基板ウェーハの前記第二の結晶面に沿ってエッチされたレンズと;を備える、光学装置同士の間の光結合のためのアラインメント装置。
IPC (5件)：
G02B 6/42
, G02B 6/32
, H01L 31/0232
, H01L 33/00
, H01S 3/18 616
G02B 6/42
, G02B 6/32
, H01L 33/00 C
, H01S 3/18 616
, H01L 31/02 C
