特許

J-GLOBAL ID：200903054783765185

金属球配列方法及び配列装置

発明者： 林 伸光
出願人/特許権者： 株式会社日鉄マイクロメタル
代理人 (1件)： 岸田 正行 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-118770
公開番号（公開出願番号）：特開平11-312699
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】 金属球を金属球配列対象に配列するための方法及び装置に関し、余剰吸着や吸着不足のような吸着異常の発生を防止し、金属球吸着所要時間を短縮し、直径規格下限外れ金属球やゴミを排除できる金属球配列方法及び配列装置を提供する。【解決手段】 金属球吸着孔を配置した金属球配列治具の該金属球吸着孔に金属球を吸着し、次いで該吸着した金属球群を配列対象に転写して金属球を配列対象に一括搭載する金属球配列方法において、金属球を保持する保持孔を有する仮配列板を該金属球を保持する面を上にして配置し、金属球供給装置から前記仮配列板上に金属球を連続的に供給しつつ前記金属球供給装置を横移動して前記仮配列板の保持孔に金属球を仮配列し、次いで該仮配列板に仮配列した金属球を前記金属球配列治具の金属球吸着孔に吸着することを特徴とする金属球配列方法及び装置。

請求項（抜粋）：

金属球吸着孔を配置した金属球配列治具の該金属球吸着孔に金属球を吸着し、次いで該吸着した金属球群を配列対象に転写して金属球を配列対象に一括搭載する金属球配列方法において、前記金属球配列治具の金属球吸着孔に対応する位置に金属球を保持する保持孔を有する仮配列板を該金属球を保持する面を上にして配置し、金属球供給口を通して金属球を連続的に供給する金属球供給装置から前記仮配列板上に金属球を連続的に供給しつつ前記金属球供給装置を横移動して前記仮配列板の保持孔に金属球を仮配列し、次いで該仮配列板に仮配列した金属球を前記金属球配列治具の金属球吸着孔に吸着することを特徴とする金属球配列方法。

IPC (3件)：

H01L 21/60 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 23/12

FI (5件)：

H01L 21/92 604 E ,  H01L 21/88 T ,  H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/92 604 Z ,  H01L 23/12 L

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 整列装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-137308   出願人：三菱電機株式会社
• はんだボール供給ならし装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-353554   出願人：古河電気工業株式会社, 京セラ株式会社
• バンプ形成方法とその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-034025   出願人：松下電器産業株式会社
• バンプ形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-010051   出願人：ソニー株式会社