特許
J-GLOBAL ID:200903054867363252
角速度検出装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
伊藤 洋二
, 三浦 高広
, 水野 史博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-201815
公開番号(公開出願番号):特開2006-023190
出願日: 2004年07月08日
公開日(公表日): 2006年01月26日
要約:
【課題】 基板に振動体を設けてなり当該基板と垂直な軸回りの角速度を検出するようにした角速度検出素子を、回路基板上に接着剤を介して積層してなる角速度検出装置において、接着剤の接着面積を小さくし構造体の共振周波数を低下させるとともに、ワイヤボンディングを容易に可能にする。【解決手段】 基板10に当該基板10と水平な面内にて振動可能な振動体を設け、当該振動体の振動に基づいて基板10と垂直な軸回りの角速度を検出するようにした角速度検出素子100を備え、角速度検出素子100が、回路基板200上に接着剤300を介して積層されている角速度検出装置S1において、角速度検出素子100の基板10の上面と回路基板200とをボンディングワイヤ70により結線し、接着剤300を、角速度検出素子100の基板10におけるボンディングワイヤ70の接続部の下方に、部分的に配置する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板(10)、および、前記基板(10)に設けられ前記基板(10)と水平な面内にて振動可能な振動体(20)を有し、前記振動体(20)の振動に基づいて前記基板(10)と垂直な軸回りの角速度を検出するようにした角速度検出素子(100)を備え、
前記角速度検出素子(100)が、回路基板(200)上に接着剤(300)を介して積層されている角速度検出装置において、
前記角速度検出素子(100)の前記基板(10)の上面と前記回路基板(200)とがボンディングワイヤ(70)により結線されており、
前記接着剤(300)は、前記角速度検出素子(100)の前記基板(10)における前記ボンディングワイヤ(70)が接続されている部位の下方に、部分的に配置されていることを特徴とする角速度検出装置。
IPC (3件):
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84
FI (3件):
G01C19/56
, G01P9/04
, H01L29/84 Z
Fターム (24件):
2F105BB03
, 2F105BB12
, 2F105BB14
, 2F105BB15
, 2F105CC04
, 2F105CD01
, 2F105CD03
, 2F105CD13
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA22
, 4M112CA24
, 4M112CA26
, 4M112CA31
, 4M112CA32
, 4M112CA33
, 4M112CA35
, 4M112DA02
, 4M112DA18
, 4M112EA02
, 4M112EA11
, 4M112EA14
, 4M112FA20
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
特許第3020496号公報
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角速度センサ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-212426
出願人:株式会社デンソー
審査官引用 (4件)
-
角速度センサ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-212426
出願人:株式会社デンソー
-
電子装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-206684
出願人:株式会社デンソー
-
表面実装型圧電発振器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-223463
出願人:東洋通信機株式会社
-
水晶発振器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-229111
出願人:京セラ株式会社
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