特許
J-GLOBAL ID：200903052706149495

角速度センサ装置

発明者：
青 建一

青 建一 について

, 
樋口 祐史

樋口 祐史 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-212426
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028644
出願日： 2001年07月12日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：
【要約】【課題】 振動型の角速度センサ装置において、外部加速度の印加によって角速度の検出精度が低下するのを防止する。【解決手段】 角速度検出用のセンサ素子100は、SOI基板10の表面側に、x軸方向およびx軸方向と直交するy軸方向に変位可能な振動体31を形成し、この振動体31がx軸方向へ振動している状態で、z軸回りに角速度が加わったときに振動体31に生じるy軸方向への変位に基づいて角速度を検出するようにしたものであり、センサ素子100は、接着剤300を介してパッケージ部材200に実装されて構造体S1が形成されており、構造体S1のy軸方向への共振周波数が、振動体31のx軸方向への共振周波数と振動体31のy軸方向への共振周波数との差の1/21/2倍以下である。
請求項（抜粋）：
角速度検出用のセンサ素子(100)を有し、前記センサ素子が、基板(10)と、この基板に対して、第1の軸(x)方向に弾性変形可能な第1の支持梁(33)および前記第1の軸方向と直交する第2の軸(y)方向に弾性変形可能な第2の支持梁(34)を介して支持された振動体(31)と、この振動体を前記第1の軸方向へ振動させる振動発生手段(35、40)と、前記振動体が前記第1の軸方向へ振動している状態で、第3の軸(z)回りに角速度が加わったときに前記振動体に生じる前記第2の軸方向への変位に基づいて前記角速度を検出するための角速度検出手段(36、50)とを備えるものである角速度センサ装置において、前記センサ素子を、パッケージ部材(200)に対して実装することにより、これらセンサ素子およびパッケージ部材が一体化された構造体(S1)が形成されており、前記構造体の前記第2の軸方向への共振周波数が、前記振動体の前記第1の軸方向への共振周波数と前記振動体の前記第2の軸方向への共振周波数との差の1/21/2倍以下であることを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
Fターム (6件)：
2F105BB03 ,  2F105BB20 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13
引用特許：
審査官引用 (13件)
  • 角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-304820   出願人：日産自動車株式会社
  • 角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-063486   出願人：株式会社村田製作所
  • 音叉型振動ジャイロ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-181236   出願人：富士通株式会社, 富士通東和エレクトロン株式会社
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